達(dá)到修正面形誤差的目的，其加工精度達(dá)到納米級。射頻(rf)離子源采用磁感應(yīng)產(chǎn)生等離子體，因此是無極放電，放電室內(nèi)鎢燈絲作為陰極，鎢燈絲可在反應(yīng)氣體中長時間工作，**降低了對離子束帶來的污染。由于射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒有雙電荷離子，因此使屏柵濺射引起的污染尤為小，同時也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學(xué)系統(tǒng)，既提高了拔出效率，又保證了結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性及防污染的可靠性。離子源工作時，氣體通過石英放電室，通過，離化氣體產(chǎn)生等離子體。帶電粒子經(jīng)由靜電場加速，控制離子束電壓，增大放電室功率，提高放電等離子體濃度，在經(jīng)過離子三柵光學(xué)系統(tǒng)的聚焦加速形成一定能量的離子束?，F(xiàn)有技術(shù)中的射頻離子源離子束束徑是通過位于離子源內(nèi)部的三級柵網(wǎng)設(shè)計的位置及形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)的，調(diào)節(jié)時需要反復(fù)更換柵網(wǎng)以實現(xiàn)束徑調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)效率低，同時，現(xiàn)有的柵網(wǎng)均為曲面柵網(wǎng)，如圖1所示，從而使得加工制造較為困難，并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度，加工成本高。技術(shù)實現(xiàn)要素：鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種束徑調(diào)節(jié)方便的射頻離子源離子束束徑約束器。廣東真空鍍膜機廠家。山西離子束濺射射頻離子源廠家

【機械泵分類】機械泵有很多種，常用的有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式四種類型。機械泵是從da氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運轉(zhuǎn)時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候，吸氣結(jié)束，此時空腔內(nèi)的體積da，轉(zhuǎn)速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系，當(dāng)電機的皮帶比較松，電機轉(zhuǎn)速很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點檢，機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達(dá)不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。廣東離子束輔助沉積射頻離子源多少錢國產(chǎn)真空鍍膜機廠商推薦。

【射頻離子源工作原理】：氣體通過一個專門設(shè)計的氣體絕緣器進(jìn)入石英放電室，13.56mhz的射頻功率通過電感耦合進(jìn)入放電室離化氣體。在產(chǎn)生plasma后、用柵網(wǎng)構(gòu)成的加速系統(tǒng)將離子引出。初，離子被帶正電的Screen Grid集中、接下來加負(fù)電壓的加速柵網(wǎng)將離子束引出。被引出的離子形成離子束，向靶標(biāo)輻射。離子所帶有的能量是由Screen grid的正電壓和Accelerator grid所加的負(fù)電壓大小所決定。離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級，在國內(nèi)也是一項“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時間長、對膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點。

    本申請中涉及的一種射頻離子源離子束束徑控制裝置具體包括一真空腔體5、控制器6以及設(shè)于真空腔體5中的離子束發(fā)生器7、束徑約束器0和驅(qū)動器8，該束徑約束器0即采用葉片2進(jìn)行光闌3大小調(diào)整的束徑約束器0，該束徑約束器0設(shè)置在離子束發(fā)生器7前端，驅(qū)動器8與束徑約束器0的驅(qū)動機構(gòu)相連以控制驅(qū)動機構(gòu)動作，控制器6分別與束徑約束器0及驅(qū)動器8相連。本實施例中，真空腔體5的真空度×10-3pa以上，驅(qū)動器8為微型電機，離子束發(fā)生器7包括離子束發(fā)生器外壁71以及位于離子束發(fā)生器外壁71內(nèi)并位于離子束前端的平面柵網(wǎng)72，控制器6為計算機，在計算機中編寫matlab控制代碼，通過代碼程序執(zhí)行，微型電機啟動，并控制驅(qū)動機構(gòu)動作，也即對伺服電機45進(jìn)行控制，伺服電機45使用絕對式編碼器進(jìn)行定位，伺服電機45驅(qū)動齒輪44轉(zhuǎn)動并通過齒圈43帶動滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)，滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時，通過導(dǎo)槽42帶動葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動，從而使葉片2的尾端22相交組成的光闌3的孔徑大小發(fā)生變化，也即實現(xiàn)離子束束徑的調(diào)節(jié)，**后將光闌3的孔徑大小信息反饋給計算機。束徑約束器0采用附圖中的設(shè)置方向時，滑環(huán)41順時針旋轉(zhuǎn)時，光闌3孔徑減小，滑環(huán)41逆時針旋轉(zhuǎn)時，光闌3孔徑變大。真空鍍膜機類型推薦。

    本發(fā)明的優(yōu)點在于：本申請的束徑約束器通過驅(qū)動組件驅(qū)動滑環(huán)旋轉(zhuǎn)，以使葉片轉(zhuǎn)動來進(jìn)行光闌的大小調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方便且調(diào)節(jié)精度高；而采用包含該束徑約束器的束徑控制裝置進(jìn)行束徑調(diào)節(jié)時，通過在控制器上輸入離子束束徑值即可實現(xiàn)光闌大小的調(diào)節(jié)，無需關(guān)閉離子源和打開真空腔體，調(diào)節(jié)效率高、自動化程度好。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中采用曲面柵網(wǎng)調(diào)節(jié)束徑的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請中離子束采用平面柵網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請中束徑約束器結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖3的示意圖。圖5為為圖4的進(jìn)一步示意圖。圖6為本申請中的葉片結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本申請中的束徑控制裝置的示意圖。具體實施方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，*用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。如圖3至6所示為本申請的束徑約束器的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，該射頻離子源離子束束徑約束器，包括底座1、多個葉片2及驅(qū)動機構(gòu)，底座1上設(shè)置有可供離子束穿過的中空結(jié)構(gòu)11，多個葉片2設(shè)于底座1一端并環(huán)繞底座1的中空結(jié)構(gòu)11呈圓周排布。射頻離子源是一種高能離子源，可用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。貴州光學(xué)薄膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)

真空鍍膜機抽真空步驟。山西離子束濺射射頻離子源廠家

【真空鍍膜之金屬拉絲】金屬拉絲：是指通過研磨產(chǎn)品在工件表面形成線紋，并且起到裝飾效果的一種表面處理手段。根據(jù)拉絲后紋路的不同可分為：直紋拉絲、亂紋拉絲、波紋、旋紋適用材料：幾乎所有的金屬材料都可以使用金屬拉絲工藝工藝成本：工藝方法簡單，設(shè)備需求簡單，材料消耗比較少，成本比較低廉，經(jīng)濟(jì)效益尤其高環(huán)境影響：純金屬制品，表面無油漆等任何化學(xué)化工物質(zhì)，600度高溫不燃燒，不會產(chǎn)生有毒氣體，符合消防標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)保要求山西離子束濺射射頻離子源廠家