【離子鍍膜法之活性反應(yīng)蒸鍍法】： 活性反應(yīng)蒸鍍法(ABE):利用電子束加熱使膜材氣化；依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮?dú)?、乙炔等反?yīng)氣體離化。這種方法的特點(diǎn)是：基板溫升小，要對(duì)基板加熱，蒸鍍效率高，能獲得三氧化鋁( AL2O3)、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜；可用于鍍機(jī)械制品、電子器件、裝飾品。 【離子鍍膜法之空心陰極離子鍍(HCD)】： 空心陰極離子鍍(HCD):利用等離子電子束加熱使膜材氣化；依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應(yīng)氣體離化。這種方法的特點(diǎn)是：基板溫升小，要對(duì)基板加熱，離化率高，電子束斑較大，能鍍金屬膜、介質(zhì)膜、化合物膜；可用于鍍裝飾鍍層、機(jī)械制品。真空鍍膜機(jī)真空四個(gè)階段。河南塘下鎮(zhèn)真空鍍膜設(shè)備公司

【離子鍍的歷史】： 真空離子鍍膜技術(shù)是近幾十年才發(fā)展起來(lái)的一種新的鍍膜技術(shù)。在離子鍍技術(shù)興起的40多年來(lái)取得了巨大的進(jìn)步，我國(guó)也有將近30多年的離子鍍研究進(jìn)程。 【離子鍍的原理】： 蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱(chēng)為離子鍍。蒸發(fā)源接陽(yáng)極，工件接陰極，當(dāng)通以三至五千伏高壓直流電以后，蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生輝光放電。由于 真空罩內(nèi)充有惰性氬氣，在放電電場(chǎng)作用下部分氬氣被電離，從而在陰極工件周?chē)纬梢坏入x子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負(fù)高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表 面，致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出，從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后，接通蒸發(fā)源交流電源，蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā)，進(jìn)入輝光放電區(qū)并 被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子，在陰極吸引下，隨同氬離子一同沖向工件，當(dāng)拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過(guò)濺失離子的數(shù)量時(shí)，則逐漸堆積形成一層牢固粘 附于工件表面的鍍層。 【離子鍍的優(yōu)缺點(diǎn)】： 優(yōu)點(diǎn)：膜層附著力好，膜層致密，具有繞度性能，能在形狀復(fù)雜的零件表面鍍膜。 缺點(diǎn)：離子鍍的應(yīng)用范圍不廣；膜與基體間存在較寬的過(guò)渡界面。會(huì)有氣體分子吸附。 河南塘下鎮(zhèn)真空鍍膜設(shè)備公司真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)集群。

【真空鍍膜產(chǎn)品常見(jiàn)不良分析及改善對(duì)策之劃痕（膜傷）】： 劃痕是指膜面內(nèi)外有道子，膜內(nèi)的稱(chēng)劃痕，膜外的稱(chēng)膜傷。這也是鍍膜品質(zhì)改善中的一個(gè)頑癥，雖然很清楚產(chǎn)生的原因和改善方法，但難以。 產(chǎn)生原因： 膜內(nèi)劃痕： 1. 前工程外觀不良?xì)埩簟?2. 各操作過(guò)程中的作業(yè)過(guò)水造成鏡片劃痕 3. 鏡片擺放太密，搬運(yùn)過(guò)程中造成互相磕碰 4. 鏡片的擺放器具、包裝材料造成鏡片表面擦傷 5. 超聲波清洗造成的傷痕 膜外傷痕(膜傷)： 1. 鏡片的擺放器具、包裝材料造成的膜傷。 2. 鍍后超聲波清洗造成的膜傷。 3. 各作業(yè)過(guò)程作業(yè)過(guò)失造成的膜傷。 改善對(duì)策： 1. 強(qiáng)化作業(yè)員作業(yè)規(guī)范 2. 訂立作業(yè)過(guò)失清單，監(jiān)督作業(yè)員避免作業(yè)過(guò)失 3. 改善鏡片擺放間隔 4. 改善鏡片搬運(yùn)方法 5. 改善擺放器具、包裝材料 6. 改善超聲波清洗工藝參數(shù) 7. 加強(qiáng)前工程檢驗(yàn)和鍍前檢查

真空鍍膜設(shè)備常見(jiàn)的污染物有：加工、裝配、操作、的時(shí)候沾染上的潤(rùn)滑劑、切削液、真空油脂這類(lèi)油脂。還有酸、堿、鹽等的剩余物質(zhì)還有手汗、水中的礦物質(zhì)等。還有拋光殘?jiān)⒁约碍h(huán)境空氣中的塵埃和其他的有機(jī)物，這些都是需要進(jìn)行清理的，我們?cè)谑褂谜婵斟兡ぴO(shè)備之前進(jìn)行簡(jiǎn)單清理可以延長(zhǎng)它的運(yùn)行壽命，這些污染物還會(huì)影響真空部件的銜接處的強(qiáng)度和密封性能。目前，國(guó)內(nèi)制造真空鍍膜機(jī)的制造商越來(lái)越多，甚至不只是國(guó)內(nèi)，國(guó)外也有很多。真空鍍膜設(shè)備真空度多少？

【真空鍍膜設(shè)備之真空的測(cè)量】： 真空計(jì)： A、熱偶規(guī)、皮拉尼規(guī)、對(duì)流規(guī)： 用來(lái)測(cè)粗真空的真空計(jì)，從大氣到1E&5Torr，精度一般在10%，皮拉尼規(guī)精度高的可到5%, 反應(yīng)較慢，受溫度變化的影響較大。 B、離子規(guī)： 用來(lái)測(cè)高真空或超高真空的真空計(jì)，熱燈絲的離子規(guī)測(cè)量范圍一般從1E&4到1E&9Torr，特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr，精度在10%~20%，燈絲在工作時(shí)遇到大氣會(huì)燒毀；冷陰極的離子規(guī)一般可以測(cè)到1E&11Torr，精度在20%~50%，特別是超高真空下測(cè)量精度很差，需要高壓電源，探頭內(nèi)有磁鐵，使用時(shí)不能用于某些無(wú)磁的場(chǎng)合。 C、電容式壓力計(jì)： 探頭Zui大壓力從25000Torr到0.1Torr，動(dòng)態(tài)范圍大約104范圍，比如，1Torr量程的Zui低是5E&4Torr，通常精度在讀數(shù)的0.25%，可以高到0.15%。 D、寬量程真空計(jì)： 皮拉尼規(guī)和熱燈絲離子規(guī)的組合，兩個(gè)規(guī)可以自動(dòng)切換，在低真空時(shí)切換到皮拉尼規(guī)，高真空時(shí)可切換到離子規(guī)。真空鍍膜設(shè)備的主要應(yīng)用。湖北pvd真空鍍膜設(shè)備排名

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【真空鍍膜機(jī)概述】：真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子搶加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機(jī)構(gòu)造的五大系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。真空鍍膜三要素：真空度、抽氣時(shí)間、溫度；任何鍍膜工藝都需要為這三個(gè)要素設(shè)定目標(biāo)值；因此，只有當(dāng)三個(gè)條件同時(shí)滿(mǎn)足時(shí)，自動(dòng)化程序才會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。真空鍍膜機(jī)需要做定期定期保養(yǎng)，目的在于：讓鍍膜機(jī)能長(zhǎng)時(shí)間地正常運(yùn)轉(zhuǎn)；降低故障時(shí)間，避免影響產(chǎn)能，減少損失；提高機(jī)器精度，穩(wěn)定品質(zhì)；加快抽氣速度，提升機(jī)器利用率等。河南塘下鎮(zhèn)真空鍍膜設(shè)備公司