【真空蒸鍍的歷史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油擴散式真空泵實用化、蒸鍍主要用于制作鏡片防反射膜。第二次世界大戰(zhàn)時,其他的光學(xué)機器對材料的需求提高,真空蒸鍍也因此快速發(fā)展。 【真空蒸鍍的原理】:在真空狀態(tài)下,加熱蒸發(fā)容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉積在目標(biāo)物體表面,形成固態(tài)薄膜。依蒸鍍材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 誘導(dǎo)、雷射等加熱方式。蒸鍍材料有鋁、亞鉛、金、銀、白金、鎳等金屬材料與可產(chǎn)生光學(xué)特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物與氟化物。蒸鍍除金屬外,樹脂與玻璃也可以使用、近年來連紙也變成可蒸鍍。 【蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)缺點】: 優(yōu)點:設(shè)備簡單、容易操作;成膜的速率快,效率高。 缺點:薄膜的厚度均勻性不易控制,蒸發(fā)容器有污染的隱患,工藝重復(fù)性不好,附著力不高。真空鍍膜機技術(shù)教程。上海微型真空鍍膜設(shè)備
不同類型鍍膜機的適用范圍介紹1、磁控濺射鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于信息存儲領(lǐng)域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等2、磁控濺射鍍膜機:應(yīng)用于防護涂層,如飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等3、磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于太陽能利用領(lǐng)域,如太陽能集熱管、太陽能電池等4、光學(xué)鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于光學(xué)薄膜領(lǐng)域,如增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等5、AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于信息顯示領(lǐng)域,如液晶屏、等離子屏等6、觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于觸摸屏領(lǐng)域,如手機、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。7、磁控中頻多弧離子鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。8、PECVD磁控生產(chǎn)線:應(yīng)用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。9、蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。10、低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。11、抗反射導(dǎo)電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線:應(yīng)用于電子產(chǎn)品領(lǐng)域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數(shù)碼相機和掌聲電腦等。海南uv真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備廠家有哪些?
【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之機器故障和人為中斷: 模擬:根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設(shè)計程序的優(yōu)化目標(biāo)值,再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優(yōu)化,模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。 *測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。 優(yōu)化:再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù),通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標(biāo)的Zui佳方案。 試鍍:根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù),試鍍?nèi)舾社R片或測試片,確認補色膜系的可行性。 補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產(chǎn)生其他不良。
【真空鍍膜濺射種類】: 1、反應(yīng)濺射:氧化物,氮化物作為沉積物質(zhì) 現(xiàn)象:①:靶材分子分裂,其于工藝氣體離子發(fā)生反應(yīng),形成化合物 ②:膜層性能改變 ③:靶材有可能中毒 2、二極濺射:二極濺射是一種經(jīng)典的標(biāo)準(zhǔn)濺射技術(shù),其中等離子體和電子均只沿著電場方向運動。 特征:①:無磁場 ②:濺射率低 ③:放電電壓高(>500V) ④:鍍膜底物受熱溫度極易升高(>500°C) 用途:主要用于金屬靶材、絕緣靶材、磁性靶材等的濺射鍍。 3、磁控濺射:暗區(qū)無等離子體產(chǎn)生,在磁控濺射下,電子呈螺旋形運動,不會直接沖向陽極。而是在電場力和磁場力的綜合作用在腔室內(nèi)做螺旋運動。同時獲的能量而和工藝氣體以及濺射出的靶材原子進行能量交換,使氣體及靶材原子離子化,dada提高氣體等離子體密度,從而提高了濺射速率(可提高10—20倍)和濺射均勻性。真空鍍膜機真空四個階段。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之單片膜色不均勻】: 原因:主要是由于基片凹凸嚴(yán)重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。另外鏡片被鏡圈(碟片)邊緣部遮擋、鏡圈(碟片)臟在蒸鍍時污染鏡片等也會造成膜色差異問題。 改善對策:改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角 1. 條件許可,用行星夾具 2. 選用傘片平坦(R大)的機臺 3. 根據(jù)傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 4. 如果有可能,把蒸發(fā)源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 5. 改善鏡圈(碟片),防止遮擋。 6. 注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應(yīng)部位對邊緣鏡片的部分遮擋 7. 清潔鏡圈(碟片) 8. 改善膜料蒸發(fā)狀況。 真空鍍膜設(shè)備品牌排行。廣西智能化真空鍍膜設(shè)備
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【光譜分光不良的補救(補色)之停電】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之停電: 對于停電這種情況,比較好處理,只要確認前面鍍的沒錯,程序沒有用錯,就可以繼續(xù)原來的程序,要注意的是:如果某一層鍍了一部分繼續(xù)鍍下去時,交接處要減少一些膜厚(根據(jù)膜料、蒸發(fā)速率決定減少多少,一般時0.2~1nm左右),如果該層剩下的膜厚不足15~20秒蒸鍍時,要考慮降低蒸發(fā)速率或干脆不讀,通過后續(xù)層調(diào)整膜厚解決。上海微型真空鍍膜設(shè)備