【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。方法:?jiǎn)?dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)廠家qian十。云南大直徑射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
本申請(qǐng)還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法,也即采用上述束徑控制裝置進(jìn)行離子束束徑控制的方法,包括以下步驟:s1,對(duì)真空腔體5進(jìn)行抽真空;s2,打開離子束發(fā)生器7,調(diào)整電壓電流參數(shù);s3,在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值;s4,點(diǎn)擊控制器6的執(zhí)行按鈕,控制器6向驅(qū)動(dòng)器8發(fā)出指令,驅(qū)動(dòng)器8控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作;s5,驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)滑環(huán)41轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱24在導(dǎo)槽42中滑動(dòng),葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進(jìn)行拋光的具體步驟:1、打開離子束拋光系統(tǒng)電源、水冷裝置、工作氬氣等;2、放置光學(xué)元件,采用合適夾具將光學(xué)元件固定;3、對(duì)真空腔體進(jìn)行抽真空,保證實(shí)驗(yàn)的真空狀態(tài),且真空腔體壓強(qiáng)需達(dá)到×10-3pa以上;4、打開離子源也即離子束發(fā)生器,調(diào)整好離子源的電壓電流等參數(shù);5、根據(jù)被拋光元件尺寸及檢測(cè)后的面形參數(shù)情況選擇離子束束徑,將離子束束徑參數(shù)輸入控制器的計(jì)算機(jī)控制界面;6、點(diǎn)擊控制器的執(zhí)行按鈕,控制器向驅(qū)動(dòng)器發(fā)出指令,驅(qū)動(dòng)器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作;7,伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱在導(dǎo)槽中滑動(dòng),葉片繞固定軸轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致;8、控制離子束垂直入射法拉第杯。寧夏離子束濺射射頻離子源制造生產(chǎn)離子真空鍍膜機(jī)是什么?
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo)1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少?gòu)濐^。(焊接管路時(shí)應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。)4、在連接管路中,用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。5、按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向)7、對(duì)于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí),可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施,簡(jiǎn)稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。二、測(cè)試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實(shí)施。四、確定檢測(cè)儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性,以da范圍的檢測(cè)出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間。把時(shí)間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時(shí)間少了,檢漏效果肯定差,時(shí)間長(zhǎng)了,浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。六、還要避免漏孔堵塞。有時(shí)由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。真空鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法。
國(guó)泰真空GTRF-17/GTRF-23射頻離子源直流源網(wǎng)滅弧采用特殊保護(hù)方式,可以在有效的保護(hù)網(wǎng)板的時(shí)候不停機(jī),不會(huì)導(dǎo)致客戶產(chǎn)品報(bào)廢。柵網(wǎng)采用獨(dú)特的加工工藝,確保柵網(wǎng)之間的曲率和平行度,網(wǎng)孔的中心距也做精密的調(diào)整,使得投射出來的離子束更均勻。射頻中和器采用L型接法匹配:匹配速度快,效率高,點(diǎn)火更優(yōu)。源頭和中和器結(jié)構(gòu)經(jīng)常拆解部分的內(nèi)六角進(jìn)行電鍍及消氣處理,防止拆卸過程卡死,備件及耗品重復(fù)利用率高。射頻電源及控制部分單獨(dú)裝配在一個(gè)電柜內(nèi),RF線纜做防輻射和泄漏處理,避免對(duì)通訊、控制信號(hào)的干擾,同時(shí)也做良好的散熱處理。真空鍍膜機(jī)類型推薦。四川射頻離子源生產(chǎn)廠家
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【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡(jiǎn)單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測(cè)量規(guī)管就可以檢測(cè)真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡(jiǎn)單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時(shí)還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計(jì)測(cè)量記錄真空容器中壓力隨時(shí)間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)?!墩婵障到y(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的,比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中,要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測(cè)之前對(duì)容器進(jìn)行凈化清洗并烘干,或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測(cè)量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對(duì)可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會(huì)造成影響。云南大直徑射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)