【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對(duì)陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場(chǎng)和磁場(chǎng)方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場(chǎng)的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長(zhǎng)了電子的運(yùn)動(dòng)路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動(dòng)能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場(chǎng)區(qū),后到達(dá)陽極時(shí)已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會(huì)使基片過熱。同時(shí)高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長(zhǎng)位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長(zhǎng),以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長(zhǎng)過程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)的產(chǎn)業(yè)集群。山東真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)

【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。河北光學(xué)鍍膜射頻離子源源頭實(shí)力廠家廣東真空鍍膜機(jī)廠家。

【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動(dòng)能的荷電粒子轟擊材料表面，使其濺射出進(jìn)入氣相，可用來刻蝕和鍍膜。入射一個(gè)離子所濺射出的原子個(gè)數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快，以Cu,Au,Ag等高，Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生，在10-1—10Pa真空度，在兩極間加高壓產(chǎn)生放電，正離子會(huì)轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材，而鍍至被鍍物上。正常輝光放電(glowdischarge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時(shí)應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜，即使高熔點(diǎn)材料也容易濺鍍，但對(duì)非導(dǎo)體靶材須以射頻（RF）或脈沖（pulse）濺射；且因?qū)щ娦暂^差，濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達(dá)10W/cm2,非金屬＜5W/cm2。

【真空鍍膜之金屬拉絲】金屬拉絲：是指通過研磨產(chǎn)品在工件表面形成線紋，并且起到裝飾效果的一種表面處理手段。根據(jù)拉絲后紋路的不同可分為：直紋拉絲、亂紋拉絲、波紋、旋紋適用材料：幾乎所有的金屬材料都可以使用金屬拉絲工藝工藝成本：工藝方法簡(jiǎn)單，設(shè)備需求簡(jiǎn)單，材料消耗比較少，成本比較低廉，經(jīng)濟(jì)效益尤其高環(huán)境影響：純金屬制品，表面無油漆等任何化學(xué)化工物質(zhì)，600度高溫不燃燒，不會(huì)產(chǎn)生有毒氣體，符合消防標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)保要求真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成。

【真空鍍膜之陽極氧化】陽極氧化：主要是鋁的陽極氧化，是利用電化學(xué)原理，在鋁和鋁合金的表面生成一層Al2O3（氧化鋁）膜。這層氧化膜具有防護(hù)性、裝飾性、絕緣性、耐磨性等特殊特性適用材料：鋁、鋁合金等鋁制品工藝成本：生產(chǎn)過程中，水、電的消耗是相當(dāng)da的，特別是在氧化工序。機(jī)器本身的熱耗，需要不停地用循環(huán)水進(jìn)行降溫，噸電耗往往在1000度左右。環(huán)境影響：陽極氧化在能效方面不算出色，同時(shí)在鋁電解生產(chǎn)中，陽極效應(yīng)還會(huì)產(chǎn)生對(duì)da氣臭氧層造成破壞性副作用的氣體。關(guān)于真空鍍膜機(jī)，你知道多少？陜西大直徑射頻離子源制造生產(chǎn)

射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。山東真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計(jì)，后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。山東真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)