【真空鍍膜設備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機前，要注意檢漏。方法：啟動維持泵，關好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設備無法進入工作狀態(tài)。真空鍍膜機品牌有很多，你如何選擇？河南離子束輔助沉積射頻離子源

【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊，開轟擊30秒，關轟擊→開真空計→當真空到，關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥，當真空達到7x10-3pa，開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后，關閉真空計、離子源→關精抽閥，前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥，取件→上料，反復開始操作。特別注意：1.設備停用時，鍍膜室要保持真空狀態(tài)，減少內(nèi)表面氣體的吸附，防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱，未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸，防止氧化。3.要保證機器內(nèi)擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。4.設備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生，須先停擴散泵，關精抽閥，前置閥和真空計。5.產(chǎn)品做完下班后，關了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關維持泵。上海光學鍍膜射頻離子源多少錢真空鍍膜機的生產(chǎn)廠家。

【機械泵分類】機械泵有很多種，常用的有滑閥式、活塞往復式、定片式和旋片式四種類型。機械泵是從da氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運轉(zhuǎn)時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸氣結束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內(nèi)的體積da，轉(zhuǎn)速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關系，當電機的皮帶比較松，電機轉(zhuǎn)速很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點檢，機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。

【真空鍍膜技術專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法?；瑂ubstrate：膜層承受體。試驗基片testingsubstrate：在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結束后用作測量和（或）試驗的基片。鍍膜材料coatingmaterial：用來制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial：在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial：有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial：組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate：在給定時間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來的材料量,除以該時間間隔濺射速率sputteringrate：在給定時間間隔內(nèi),濺射出來的材料量,除以該時間間隔。沉積速率depositionrate：在給定時間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。真空鍍膜機的工作原理和構成。

    葉片2的首端21靠近底座1的一側(cè)面上設有可伸入定位孔12中轉(zhuǎn)動的固定軸23，也即葉片2的轉(zhuǎn)動是繞固定軸23進行的，當然葉片2與底座1間的轉(zhuǎn)動連接還可以是其它方式，比如在葉片2上設置定位孔而在底座1上設置固定軸等方式；葉片2遠離底座1的一側(cè)面上設有導柱24，導柱24的設置位置相對固定軸23靠近葉片2的尾端22，滑環(huán)41上設有可供導柱24伸入其中滑動并在滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時帶動葉片2的尾端22繞葉片2的首端21轉(zhuǎn)動的導槽42，同樣的，也可以將導柱設置在滑環(huán)41上而將導槽設置在葉片2上，同時，為了使滑環(huán)41轉(zhuǎn)動時，光闌3的大小調(diào)節(jié)速度更為均勻穩(wěn)定，將導槽42設置為與葉片2的圓弧形狀彎曲方向一致的弧形，這樣也可以使得束徑約束器外觀更為美觀。作為一種推薦實施例，滑環(huán)41的外周設有齒圈43，驅(qū)動組件包括能與齒圈43嚙合的齒輪44及驅(qū)動齒輪44轉(zhuǎn)動的伺服電機45，伺服電機45可以固定在底座1上。當然，可以想象，能夠?qū)崿F(xiàn)滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)的方式還可以是其它方式，比如采用皮帶、鏈條結合電機進行，或者在滑環(huán)41外周設置外螺紋并采用絲桿進行驅(qū)動。如圖7所示。電子束蒸發(fā)真空鍍膜機是什么？遼寧離子束刻蝕射頻離子源怎么選

真空鍍膜機的操作培訓。河南離子束輔助沉積射頻離子源

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