本申請還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法，也即采用上述束徑控制裝置進(jìn)行離子束束徑控制的方法，包括以下步驟：s1，對真空腔體5進(jìn)行抽真空；s2，打開離子束發(fā)生器7，調(diào)整電壓電流參數(shù)；s3，在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值；s4，點(diǎn)擊控制器6的執(zhí)行按鈕，控制器6向驅(qū)動器8發(fā)出指令，驅(qū)動器8控制驅(qū)動機(jī)構(gòu)動作；s5，驅(qū)動組件驅(qū)動滑環(huán)41轉(zhuǎn)動并帶動導(dǎo)柱24在導(dǎo)槽42中滑動，葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進(jìn)行拋光的具體步驟：1、打開離子束拋光系統(tǒng)電源、水冷裝置、工作氬氣等；2、放置光學(xué)元件，采用合適夾具將光學(xué)元件固定；3、對真空腔體進(jìn)行抽真空，保證實驗的真空狀態(tài)，且真空腔體壓強(qiáng)需達(dá)到×10-3pa以上；4、打開離子源也即離子束發(fā)生器，調(diào)整好離子源的電壓電流等參數(shù)；5、根據(jù)被拋光元件尺寸及檢測后的面形參數(shù)情況選擇離子束束徑，將離子束束徑參數(shù)輸入控制器的計算機(jī)控制界面；6、點(diǎn)擊控制器的執(zhí)行按鈕，控制器向驅(qū)動器發(fā)出指令，驅(qū)動器控制驅(qū)動機(jī)構(gòu)動作；7，伺服電機(jī)驅(qū)動滑環(huán)轉(zhuǎn)動并帶動導(dǎo)柱在導(dǎo)槽中滑動，葉片繞固定軸轉(zhuǎn)動使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致；8、控制離子束垂直入射法拉第杯。真空鍍膜機(jī)該如何維修。湖南射頻離子源怎么選

    且多個葉片2的尾端22伸入中空結(jié)構(gòu)11圍合的區(qū)域中以形成可供離子束穿過的光闌3，驅(qū)動機(jī)構(gòu)可驅(qū)動葉片2的尾端22相對葉片排布形成的圓周的中心運(yùn)動，從而使得葉片2圍合形成的光闌3的大小得以調(diào)節(jié)，即對離子束的束徑進(jìn)行調(diào)節(jié)。作為一種推薦實施例，葉片2的首端21與底座1的對應(yīng)端面轉(zhuǎn)動連接，葉片2的尾端22沿葉片2排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入中空結(jié)構(gòu)11所在區(qū)域以形成光闌3，驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括滑環(huán)41及驅(qū)動滑環(huán)41繞滑環(huán)41中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件，滑環(huán)41位于多個葉片2的遠(yuǎn)離底座1的一側(cè)并與多個葉片2排布形成的圓周同軸設(shè)置，滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時帶動葉片2的尾端22繞葉片2的首端21轉(zhuǎn)動以實現(xiàn)光闌3大小調(diào)節(jié)，也即滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時，由于葉片2的首端21與底座1一端端面轉(zhuǎn)動連接，葉片2的首端21相對葉片2圍合形成的圓周的中心距離不會變化，而葉片2的尾端22則會相對于葉片2排布形成的圓周的中心進(jìn)行運(yùn)動，從而使葉片2的尾端22相交圍合形成的光闌3大小變化。并且為了使光闌3的形狀更趨近于圓形，葉片2具有朝向葉片2排布形成的圓周的圓弧方向同向彎曲的圓弧形狀，同時，當(dāng)葉片2的數(shù)量越多時，光闌3的形狀更趨近于圓形。具體而言，底座1的對應(yīng)端的端面上設(shè)有多個呈圓周布置的定位孔12。遼寧大直徑射頻離子源多少錢射頻離子源具有高效、穩(wěn)定、可靠的特點(diǎn)，可滿足不同領(lǐng)域的需求。

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱．促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達(dá)到清洗的目的，這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件．促使其表面吸附的水分子和各種碳?xì)浠衔锓肿拥慕馕饔迷鰪?qiáng)。解吸增強(qiáng)的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下，為了得到原子級清潔表面，加熱溫度必高于450度才行．加熱清洗方法特別有效。但有時，這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果，可能發(fā)生某些碳?xì)浠衔锞酆铣奢^da的團(tuán)粒，并同時分解成碳渣。

【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項檢查措施，簡稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實漏。因為工件材料加熱后都會在不同程度上產(chǎn)生氣體，有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，要排除這種情況。二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實施。四、確定檢測儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性，以da范圍的檢測出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間。把時間掌握好，保證檢漏儀器工作到位，時間少了，檢漏效果肯定差，時間長了，浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤，檢漏過程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多種多樣，我們要一一的解決這些原因，穩(wěn)定鍍膜的效果。關(guān)于真空鍍膜機(jī)，你知道多少？

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種，也是簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法，因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì)，通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率，從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單，但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話，靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話，就需要配合其他方法來進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍，再關(guān)閉閥門，隔離真空泵與真空容器，然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程，即可得出泄漏數(shù)據(jù)?！墩婵障到y(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中，螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的，比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中，要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾，需要在檢測之前對容器進(jìn)行凈化清洗并烘干，或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱，處理釋放的可凝氣體，而對可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會造成影響。真空鍍膜機(jī)廠家qian十。河北離子束刻蝕射頻離子源多少錢

真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域。湖南射頻離子源怎么選

【真空鍍膜機(jī)之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo)1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。2、泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應(yīng)qing除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。）4、在連接管路中，用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查泵的極限壓力。5、按電動機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時，須取下電機(jī)皮帶，確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向）7、對于有冷卻水的泵，按規(guī)定接通冷卻水。8、如泵口安裝電磁閥時，閥與泵應(yīng)同時動作。9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。湖南射頻離子源怎么選