【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前，要注意檢漏。方法：啟動維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)機(jī)組是怎樣的？廣東離子束濺射射頻離子源怎么選

【真空鍍膜機(jī)之真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)】1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保泵工作正常。3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下，泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理，確保管路暢通。6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。7、本系列泵油采用專業(yè)用真空泵油。陜西光學(xué)鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)品牌有很多，你如何選擇？

【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運(yùn)動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),后到達(dá)陽極時(shí)已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時(shí)高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。

【真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件】1、環(huán)境溫度：10~30℃2、相對濕度：不da于70%3、冷卻水進(jìn)水溫度：不高于25℃4、冷卻水質(zhì)：城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?、供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz（由所用電器需要而定），電壓波動范圍342~399V或198V~231V，頻率波動范圍49~51Hz；6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。7、設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵埃或氣體存在。此外，真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時(shí)排出的氣體對實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道（金屬、橡膠管）的辦法，將氣體排出室外。電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)是什么？

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之氮?dú)鉀_洗】氮?dú)庠诓牧媳砻嫖綍r(shí)，由于吸附能小，因而吸留表面時(shí)間極短.即便吸附在器壁上，也很容易被抽走。利用氮?dú)獾倪@種性質(zhì)沖洗真空系統(tǒng)，可以dada縮短系統(tǒng)的抽氣時(shí)間。如真空鍍膜機(jī)在放入da氣之前，先用干燥氮?dú)獬淙胝婵帐覜_刷一下再充入da氣，則下一抽氣循環(huán)的抽氣時(shí)間可縮短近一半，其原因?yàn)榈钟璧奈侥苓h(yuǎn)比水氣分子小，在真空下充入氮?dú)夂螅肿酉缺徽婵帐冶谖搅?。由于吸附位是一定的，先被氮分子占滿了，其吸附的水分子就很少了，因而使抽氣時(shí)間縮短了。如果系統(tǒng)被擴(kuò)散泵油噴濺污染了，還可以利用氮?dú)鉀_洗法來清洗被污染的系統(tǒng).一般是一邊對系統(tǒng)進(jìn)行烘烤加熱，一邊用氮?dú)鉀_洗系統(tǒng)，可將油污染消除。國產(chǎn)真空鍍膜機(jī)廠商推薦。陜西光學(xué)鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)類型推薦。廣東離子束濺射射頻離子源怎么選

    本發(fā)明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術(shù)：離子束超精密加工研究中，離子源起著非常重要的作用。離子源是產(chǎn)生離子束流的裝置，又是離子束設(shè)備中的關(guān)鍵部件。不論是光學(xué)薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光，高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源，其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。射頻離子源由德國giessen大學(xué)，，從電火箭空間應(yīng)用向地面應(yīng)用擴(kuò)展而來。這種離子源具有結(jié)構(gòu)簡單、無極放電的優(yōu)點(diǎn)，因而對任何氣體特別是反應(yīng)氣體具有長壽命、效率高的特點(diǎn)。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，射頻離子源離子束拋光在超精密光學(xué)元件的**終加工中應(yīng)用也非常***，是一種去除精度達(dá)到原子級別的拋光技術(shù)，被認(rèn)為是加工精度**高，修形效果**好的光學(xué)元件修形技術(shù)，在此過程中，具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學(xué)元件表面，利用轟擊時(shí)發(fā)生的物理濺射效應(yīng)去除光學(xué)元件表面材料。廣東離子束濺射射頻離子源怎么選