【真空鍍膜改善薄膜應力】: 1. 鍍后烘烤,Zui后一層膜鍍完后,烘烤不要馬上停止,延續(xù)10分鐘“回火”。讓膜層結構趨于穩(wěn)定。 2. 降溫時間適當延長,退火時效。減少由于真空室內外溫差過大帶來的熱應力。 3. 對高反膜、濾光膜等在蒸鍍過程中,基片溫度不宜過高,高溫易產生熱應力。并且對氧化鈦、氧化鉭等膜料的光學穩(wěn)定性有負面影響。 4. 鍍膜過程離子輔助,減少應力。 5. 選擇合適的膜系匹配,第yi層膜料與基片匹配。 6. 適當減小蒸發(fā)速率。 7. 對氧化物膜料全部充氧反應鍍,根據(jù)不同膜料控制氧進氣量。 真空鍍膜設備是什么?廣東陶瓷真空鍍膜設備
【真空鍍膜設備之真空的獲得】:真空泵:真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。A、粗真空泵(RoughVacuumPump):一般用于抽粗真空,有油泵和干泵。從結構上可分幾種:旋轉葉片泵:油泵,極限真空可達10&3Torr,抽速1~650CFM隔膜泵:干泵,極限真空1Torr左右,抽速<10CFM往復式活塞泵湖北真空鍍膜設備生產廠家真空鍍膜設備的主要應用。
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】:現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕??赡艹梢蛴校?.膜結構問題,外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙2.蒸發(fā)角過大,膜結構粗糙3.溫差:鏡片出罩時內外溫差過大4.潮氣:鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣5.真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重6.蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻。7.膜與膜之間的應力改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。改善對策:1.改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。2.降低出罩時的鏡片溫度3.改善充氧(加大),改善膜結構4.適當降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結構5.離子輔助鍍膜,改善膜結構6.加上Polycold解凍時的小充氣閥7.從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角8.改善基片表面粗糙度9.注意Polycold解凍時的真空度。
【光譜分光不良的補救(補色)之其他情況】:分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。中斷的原因形式之其他情況:對于用錯程序,錯誤操作(預熔未關閉擋板等)人為中斷需要補救的;以及反光膜、濾光膜鍍后需要補救的情況處理方案:模擬:將實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值。通過計算機模擬(一般是Zui后一層的膜厚確認),找到與實現(xiàn)測試值結果相應的膜系數(shù)據(jù)。光學真空鍍膜設備制造商。
【真空鍍膜磁控濺射法】: 濺射鍍膜Zui初出現(xiàn)的是簡單的直流二極濺射,它的優(yōu)點是裝置簡單,但是直流二極濺射沉積速率低;為了保持自持放電,不能在低氣壓(<0.1 Pa)下進行;不能濺射絕緣材料等缺點限制了其應用。 磁控濺射是由二極濺射基礎上發(fā)展而來,在靶材表面建立與電場正交磁場,解決了二極濺射沉積速率低,等離子體離化率低等問題,成為目前鍍膜工業(yè)主要方法之一。磁控濺射與其它鍍膜技術相比具有如下特點:可制備成靶的材料廣,幾乎所有金屬,合金和陶瓷材料都可以制成靶材;在適當條件下多元靶材共濺射方式,可沉積配比精確恒定的合金;在濺射的放電氣氛中加入氧、氮或其它活性氣體,可沉積形成靶材物質與氣體分子的化合物薄膜;通過精確地控制濺射鍍膜過程,容易獲得均勻的高精度的膜厚;通過離子濺射靶材料物質由固態(tài)直接轉變?yōu)榈入x子態(tài),濺射靶的安裝不受限制,適合于大容積鍍膜室多靶布置設計;濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點,很適合于大批量,高效率工業(yè)生產。近年來磁控濺射技術發(fā)展很快,具有代表性的方法有射頻濺射、反應磁控濺射、非平衡磁控濺射、脈沖磁控濺射、高速濺射等。真空鍍膜設備公司排名。江蘇uv真空鍍膜設備
真空鍍膜設備日常怎么維護?廣東陶瓷真空鍍膜設備
【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】:分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。中斷的原因形式之機器故障和人為中斷:模擬:根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值,再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優(yōu)化,模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。*測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。優(yōu)化:再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù),通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標的Zui佳方案。試鍍:根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù),試鍍若干鏡片或測試片,確認補色膜系的可行性。補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產生其他不良。廣東陶瓷真空鍍膜設備