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廣東大型多弧真空鍍膜設(shè)備

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-11-27

【真空鍍膜設(shè)備的分類(lèi)】: 這個(gè)問(wèn)題如果在十年之前,其實(shí)是很容易回答的,就是兩個(gè)大類(lèi),物理沉積設(shè)備和化學(xué)沉積設(shè)備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒(méi)錯(cuò)的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒(méi)辦法把事情說(shuō)清楚了,所以從應(yīng)用領(lǐng)域上可以分成以下幾類(lèi): 傳統(tǒng)光學(xué)器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設(shè)備:?jiǎn)吻惑w或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設(shè)備,濺射式鍍膜設(shè)備。 新材料領(lǐng)域的柔性設(shè)備:卷對(duì)卷柔性鍍膜設(shè)備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設(shè)備。 半導(dǎo)體及相似工藝:化學(xué)氣相沉積設(shè)備。 功能膜:多弧離子鍍?cè)O(shè)備,濺射設(shè)備,蒸發(fā)設(shè)備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線(xiàn) 其余的就得歸到“工藝定制設(shè)備”這個(gè)范圍里面了,例如車(chē)燈鍍膜設(shè)備,太陽(yáng)能的共蒸發(fā)設(shè)備,光纖鍍膜設(shè)備,太陽(yáng)能管設(shè)備等等 真空鍍膜設(shè)備品牌有很多,你如何選擇?廣東大型多弧真空鍍膜設(shè)備

【真空鍍膜機(jī)概述】: 真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子搶加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 真空鍍膜機(jī)構(gòu)造的五大系統(tǒng):排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。 真空鍍膜三要素:真空度、抽氣時(shí)間、溫度;任何鍍膜工藝都需要為這三個(gè)要素設(shè)定目標(biāo)值;因此,只有當(dāng)三個(gè)條件同時(shí)滿(mǎn)足時(shí),自動(dòng)化程序才會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。 真空鍍膜機(jī)需要做定期定期保養(yǎng),目的在于:讓鍍膜機(jī)能長(zhǎng)時(shí)間地正常運(yùn)轉(zhuǎn);降低故障時(shí)間,避免影響產(chǎn)能,減少損失;提高機(jī)器精度,穩(wěn)定品質(zhì);加快抽氣速度,提升機(jī)器利用率等。天津真空鍍膜設(shè)備 維修真空鍍膜機(jī)參數(shù)怎么調(diào)?

【真空鍍膜設(shè)備】主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖程,終形成薄膜。

【真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(kāi)(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線(xiàn)電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空: 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清洗) 2. 擴(kuò)散泵很久未換油(應(yīng)清洗換油) 3. 前級(jí)泵反壓強(qiáng)大太機(jī)械泵真空度太低(應(yīng)清洗換油) 4. 各動(dòng)密封膠圈損壞(更換膠圈) 5. 由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化(更換膠圈) 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈) 7. 各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象(重新壓緊) 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠(注油)真空鍍膜設(shè)備品牌排行。

【真空鍍膜設(shè)備之真空的測(cè)量】: 真空計(jì): A、熱偶規(guī)、皮拉尼規(guī)、對(duì)流規(guī): 用來(lái)測(cè)粗真空的真空計(jì),從大氣到1E&5Torr,精度一般在10%,皮拉尼規(guī)精度高的可到5%, 反應(yīng)較慢,受溫度變化的影響較大。 B、離子規(guī): 用來(lái)測(cè)高真空或超高真空的真空計(jì),熱燈絲的離子規(guī)測(cè)量范圍一般從1E&4到1E&9Torr,特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr,精度在10%~20%,燈絲在工作時(shí)遇到大氣會(huì)燒毀;冷陰極的離子規(guī)一般可以測(cè)到1E&11Torr,精度在20%~50%,特別是超高真空下測(cè)量精度很差,需要高壓電源,探頭內(nèi)有磁鐵,使用時(shí)不能用于某些無(wú)磁的場(chǎng)合。 C、電容式壓力計(jì): 探頭Zui大壓力從25000Torr到0.1Torr,動(dòng)態(tài)范圍大約104范圍,比如,1Torr量程的Zui低是5E&4Torr,通常精度在讀數(shù)的0.25%,可以高到0.15%。 D、寬量程真空計(jì): 皮拉尼規(guī)和熱燈絲離子規(guī)的組合,兩個(gè)規(guī)可以自動(dòng)切換,在低真空時(shí)切換到皮拉尼規(guī),高真空時(shí)可切換到離子規(guī)。真空鍍膜設(shè)備怎么保養(yǎng)?廣西鷹潭真空鍍膜設(shè)備廠家

真空鍍膜設(shè)備的主要應(yīng)用。廣東大型多弧真空鍍膜設(shè)備

真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱(chēng)為基片,鍍的材料被稱(chēng)為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。 對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)程,終形成薄膜。廣東大型多弧真空鍍膜設(shè)備