【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運(yùn)動(dòng)路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動(dòng)能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),后到達(dá)陽極時(shí)已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時(shí)高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成。成都離子束濺射射頻離子源多少錢
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結(jié)構(gòu)一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據(jù)膜層的導(dǎo)電與否,可分為導(dǎo)電真空鍍膜(VM)和不導(dǎo)電真空鍍膜(NCVM)兩種。VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM:具有金屬質(zhì)感、透明,但不導(dǎo)電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機(jī)殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽的速度會顯然變慢,當(dāng)操作不當(dāng)應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。吉林離子束濺射射頻離子源真空鍍膜機(jī)故障解決方法?
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo)1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時(shí)應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。)4、在連接管路中,用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。5、按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向)7、對于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí),可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。離子真空鍍膜機(jī)是什么?
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結(jié)構(gòu)一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據(jù)膜層的導(dǎo)電與否,可分為導(dǎo)電真空鍍膜(VM)和不導(dǎo)電真空鍍膜(NCVM)兩種。VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM:具有金屬質(zhì)感、透明,但不導(dǎo)電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機(jī)殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽的速度會顯然變慢,當(dāng)操作不當(dāng)應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。首先啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn),否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處的密封圈是否正常。真空鍍膜機(jī)的操作視頻。浙江大直徑射頻離子源制造生產(chǎn)廠家
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【真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)技術(shù)】一、當(dāng)鍍膜設(shè)備工作完成到兩百個(gè)鍍膜的時(shí)候,拆出密封圈,及時(shí)清潔設(shè)備環(huán)境(室內(nèi)環(huán)境)。如何清潔保養(yǎng)?首先我們要使鍍上去的膜層掉落,同時(shí)釋放氫氣,清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚,所以通常我們要小心謹(jǐn)慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內(nèi)部(內(nèi)壁),再用清水洗刷真空室,并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。二、當(dāng)閥泵連續(xù)工作一個(gè)月之后,為保持設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)我們需要更換油。將泵啟動(dòng),擰開放油螺栓,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,觀察油視鏡倒入新油加到一定額度,平常換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,有需要時(shí)用布擦干凈箱內(nèi)污垢。三、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽的速度會顯然變慢,當(dāng)操作不當(dāng)應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。首先啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn),否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處的密封圈是否正常。成都離子束濺射射頻離子源多少錢