【鍍膜玻璃的主要產(chǎn)生法之真空磁控濺射法】磁控濺射法的生產(chǎn)方式包括間歇式和連續(xù)式生產(chǎn)法,其中連續(xù)式生產(chǎn)法又可分為水平和垂直連續(xù)式生產(chǎn)兩種。其中,水平連續(xù)式生產(chǎn)法是玻璃基片在水平輸送過程中完成全部加工工藝的生產(chǎn)方式,以具有3個濺射室的雙端機(jī)。 磁控濺射鍍膜的優(yōu)點主要有:①對靶材的面積和形狀不作要求,且可實現(xiàn)大面積鍍膜,且膜層均勻性好、膜厚可控、濺射工藝重復(fù)性好;②可用的膜材廣fan,只要能做成靶材的任何材料都可實現(xiàn)濺射,因此可制備絕大多數(shù)材料的薄膜,包括合金和化合物等;③薄膜與基片的附著力強(qiáng),膜層純度高、致密;④成膜速度快,生產(chǎn)效率高。 光學(xué)鍍膜機(jī)的主要用途?黑龍江多層光學(xué)鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)列表
【光學(xué)鍍膜之何為化學(xué)氣相蒸鍍,主要的優(yōu)缺點有哪些】 化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體,在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并鍍上一層固態(tài)薄膜。 優(yōu)點: (1)真空度要求不高,甚至可以不需要真空,例如熱噴覆 (2)沉積速率快,大氣CVD可以達(dá)到1μm/min (3)與PVD比較的話?;瘜W(xué)量論組成或合金的鍍膜較容易達(dá)成 (4)鍍膜的成份多樣化,如金屬、非金屬、半導(dǎo)體、光電材料、鉆石薄膜等等 (5)可以在復(fù)雜形狀的基材鍍膜,甚至滲入多孔的陶瓷 (6)厚度的均勻性良好,低壓CVD甚至可以同時鍍數(shù)十芯片 缺點: (1)熱力學(xué)及化學(xué)反應(yīng)機(jī)制不易了解或不甚了解 (2)需要在高溫下進(jìn)行,有些基材不能承受,甚至和鍍膜產(chǎn)生作用 (3)反應(yīng)氣體可能具腐蝕性、毒性或baozha性,處理時需小心 (4)反應(yīng)生成物可能殘余在鍍膜上,成為雜質(zhì) (5)基材的遮蔽很難 天津光學(xué)鍍膜機(jī)托架光學(xué)鍍膜機(jī)抽真空步驟。
【光學(xué)薄膜的研究新進(jìn)展之軟X射線多層膜】意大利、英國、法國、美國和俄羅斯等國對軟X射線多層膜開展了廣fan研究,軟X射線的光譜區(qū)為1~30nm,據(jù)報道,不同波長的各種軟X射線多層膜都取得了可喜的成績。 采用離子束濺射和磁控濺射等鍍膜技術(shù)制備的軟X射線多層膜,在X光激光器、X射線望遠(yuǎn)鏡等高技術(shù)方面得到應(yīng)用;近年來,X射線天文學(xué)、軟X射線顯微術(shù)、軟X射線投影光刻以及軟X射線激光均取得了很好的發(fā)展,其中軟X射線多層膜起著關(guān)鍵作用。意大利和荷蘭聯(lián)合研制并成功發(fā)射了探測X射線的衛(wèi)星以及發(fā)射了“多面鏡X射線觀測衛(wèi)星”,均使用了軟X射線多層膜;美國已多次發(fā)射帶有正入射的X射線多層膜系統(tǒng)的衛(wèi)星,得到了4.4~30.4″nm波段的高分辨率太陽圖像。
【光學(xué)鍍膜機(jī)電子qiang打火問題】 電子qiang在蒸鍍時,由于電子束中的電子與氣體分子和蒸發(fā)材料的蒸汽發(fā)生碰撞產(chǎn)生的離子轟擊帶負(fù)電高壓電極及其引線,即產(chǎn)生打火。另外,若這些帶負(fù)高壓電的部分有塵粒等雜物,會使該處電場集中了容易打火。故電子束蒸鍍設(shè)備的高壓電源都附有高壓自動滅弧復(fù)位裝置,在打火非常嚴(yán)重時才會自動切斷高壓,然后又自動恢復(fù),切斷與恢復(fù)的時間愈短,愈不會影響蒸鍍工藝。 高壓引線應(yīng)盡量短,并用接地良好的不銹鋼板屏蔽住,不要追求美觀把引線彎來彎去。 qiang頭金屬件和引線定期用細(xì)砂紙打光,然后用丙tong清洗干凈。上螺釘?shù)穆菘锥ㄆ谟媒z錐攻螺孔,以便螺釘上下方便并保證壓的很緊。 所有陶瓷件污染后應(yīng)予更換。 電子qiang體應(yīng)可靠接地。 對放氣量大的材料應(yīng)充分預(yù)熱以徹底除氣。蒸鍍時功率要合適,不可過高造成材料飛濺。 高壓饋線與高壓絕緣子金屬件的接線一定要可靠并經(jīng)常檢查,以免增大接觸電阻造成發(fā)熱而燒壞。 蒸發(fā)檔板應(yīng)高于蒸發(fā)源70mm. 光學(xué)鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些?
【光學(xué)濾光片之按光譜特性區(qū)分】:帶通濾光片、短波截止濾光片、長波截止濾光片。 帶通型濾光片:選定特定波段的光通過,通帶以外的光截止。其光學(xué)指標(biāo)主要是中心波長(CWL),半帶寬(FWHM),中心波長透過率(Tp),截止度及截止范圍。按帶寬分為窄帶和寬帶,通常按帶寬比中心波長的值來區(qū)分,小于2%來定為窄帶,大于2%定為寬帶。比如窄帶BP808-10濾光片,寬帶的如BP650-80。 短波通型(又叫低波通):短于選定波長的光通過,長于該波長的光截止。 比如紅外截止濾光片,IR-CUT-650。 長波通型(又叫高波通):長于選定波長的光通過,短于該波長的光截止 比如紅外透過濾光片,LWP-700。 光學(xué)鍍膜機(jī)是什么樣的?浙江華源光學(xué)鍍膜機(jī)
關(guān)于光學(xué)鍍膜機(jī),你知道多少?黑龍江多層光學(xué)鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)列表
【光學(xué)鍍膜機(jī)的清洗】設(shè)備使用一個星期后,因鍍料除鍍在工件表面外,亦因無定向性而工作室內(nèi)的襯板上鍍料,并越鍍越厚,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時,應(yīng)對工作室及襯板進(jìn)行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里,氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。 注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。*后安裝襯板時,真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。 因使用電子qiang及離子源輔助鍍膜,可能會造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。 黑龍江多層光學(xué)鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)列表
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