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安徽真空鍍膜設備應用

來源: 發(fā)布時間:2021-11-05

【真空鍍膜設備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備?,F在這樣回答也是沒錯的,但現在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類: 傳統光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。 新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設備。 半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。 功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發(fā)設備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線 其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發(fā)設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等等 真空鍍膜設備廠家排名。安徽真空鍍膜設備應用

【真空鍍膜之真空的概念】: “真空”是指在給定空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài),也就是該空間內氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態(tài),就意味著該空間具有不同的分子密度。在標準狀態(tài)(STP:即0℃,101325Pa,也就是1標準大氣壓,760Torr)下,氣體的分子密度為2.68E24/m3,而在真空度為1.33E&4 Pa(1E&6Torr)時,氣體的分子密度只有3.24E16/m3。完全沒有氣體的空間狀態(tài)為Jue對真空。Jue對真空實際上是不存在的。河北真空鍍膜設備廠成都國泰真空鍍膜設備怎么樣?

【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之灰點臟】: 現象:鏡片膜層表面或內部有一些電子(不是膜料點),有些可擦除,有些不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。 原因: 1. 真空室臟 2. 鏡圈或碟片臟 3. 鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。 4. 鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。 改善思路:杜絕灰塵源 1. 工作環(huán)境改造成潔凈車間,嚴格按潔凈車間規(guī)范實施。 2. 盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。 3. 真空室周期打掃,保持清潔。

【離子鍍膜法之活性反應蒸鍍法】: 活性反應蒸鍍法(ABE):利用電子束加熱使膜材氣化;依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮氣、乙炔等反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,要對基板加熱,蒸鍍效率高,能獲得三氧化鋁( AL2O3)、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜;可用于鍍機械制品、電子器件、裝飾品。 【離子鍍膜法之空心陰極離子鍍(HCD)】: 空心陰極離子鍍(HCD):利用等離子電子束加熱使膜材氣化;依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,要對基板加熱,離化率高,電子束斑較大,能鍍金屬膜、介質膜、化合物膜;可用于鍍裝飾鍍層、機械制品。 真空鍍膜設備怎么保養(yǎng)?

【近些年來出現的新的鍍膜方法】: 除蒸發(fā)法和濺射法外,人們又綜合了這兩種方法的優(yōu)缺點,取長補短,發(fā)展出一些新的方法,如:等離子體束濺射等。這種嶄新的技術結合了蒸發(fā)鍍的高效和濺射鍍的高性能特點,特別在多元合金以及磁性薄膜的制備方面,具有其它手段無可比擬的優(yōu)點。高效率等離子體濺射(High Target Utilization Plasma Sputtering(HiTUS))實際上是由利用射頻功率產生的等離子體聚束線圈、偏壓電源組成的一個濺射鍍膜系統。這種離子體源裝置在真空室的側面。如圖1所示。圖2為實際的鍍膜機照片。該等離子體束在電磁場的作用下被引導到靶上,在靶的表面形成高密度等離子體。同時靶連接有DC/RF偏壓電源,從而實現高效可控的等離子體濺射。等離子體發(fā)生裝置與真空室的分離設計是實現濺射工藝參數寬范圍可控的關鍵,而這種廣闊的可控性使得特定的應用能確定工藝參數Zui優(yōu)化。 與通常的磁控濺射相比,由于磁控靶磁場的存在而在靶材表面形成刻蝕環(huán)不同,HiTUS系統由于取消了靶材背面的磁鐵,從而能對靶的材料實現全mian積均勻。 真空鍍膜設備的工作原理。貴州真空鍍膜設備有用嗎

真空鍍膜設備真空度多少?安徽真空鍍膜設備應用

【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜內白霧】: 白霧形成在膜內,無法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片臟 2. 鏡片表面腐蝕污染 3. 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配 4. 氧化物充氧不夠 5. 第yi層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象 6. 基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染 7. 洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡,擦拭痕跡 8. 真空室臟、水汽過重 9. 環(huán)境濕度大 改善對策:基片本身的問題可能時主要的鍍膜室盡量彌補,鍍膜本身Zui大的可能室膜料匹配問題。 1. 改進膜系,第yi層不用氧化鋯 2. 盡量減少真空室開門時間 3. 真空室在更換護板、清潔后,Zui好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈 4. 改善環(huán)境 5. 妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染 6. 改善洗凈、擦拭效果 7. 改善膜匹配(考慮第yi層用Al2O3) 8. 改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低) 9. 加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。 10. 拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質附著干結。 安徽真空鍍膜設備應用

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