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浙江光學(xué)鍍膜設(shè)備

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-04

【什么是薄膜干涉】薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第yi束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射振動(dòng)分出,是相干光,屬分振幅干涉。若光源為擴(kuò)展光源(面光源),則只能在兩相干光束的特定重疊區(qū)才能觀察到干涉,故屬定域干涉。對兩表面互相平行的平面薄膜,干涉條紋定域在無窮遠(yuǎn),通常借助于會(huì)聚透鏡在其像方焦面內(nèi)觀察;對楔形薄膜,干涉條紋定域在薄膜附近。 實(shí)驗(yàn)和理論都證明,只有兩列光波具有一定關(guān)系時(shí),才能產(chǎn)生干涉條紋,這些關(guān)系稱為相干條件。薄膜的想干條件包括三點(diǎn): 兩束光波的頻率相同; 束光波的震動(dòng)方向相同; 兩束光波的相位差保持恒定。薄膜干涉兩相干光的光程差公式為: Δ=ntcos(α) ± λ/2   式中n為薄膜的折射率;t為入射點(diǎn)的薄膜厚度;α為薄膜內(nèi)的折射角;λ/2是由于兩束相干光在性質(zhì)不同的兩個(gè)界面(一個(gè)是光疏介質(zhì)到光密介質(zhì),另一個(gè)是光密介質(zhì)到光疏介質(zhì))上反射而引起的附加光程差。薄膜干涉原理廣fan應(yīng)用于光學(xué)表面的檢驗(yàn)、微小的角度或線度的精密測量、減反射膜和干涉濾光片的制備等。 光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家qian十。浙江光學(xué)鍍膜設(shè)備

【光學(xué)薄膜的特點(diǎn)分類】主要的光學(xué)薄膜器件包括反射膜、減反射膜、偏振膜、干涉濾光片和分光鏡等等,它們在國民經(jīng)濟(jì)和**建設(shè)中得到廣fan的應(yīng)用,獲得了科學(xué)技術(shù)工作者的日益重視.例如采用減反射膜后可使復(fù)雜的光學(xué)鏡頭的光通量損失成十倍的減小;采用高反射膜比的反射鏡可使激光器的輸出功率成倍提高;利用光學(xué)薄膜可提高硅電池的效率和穩(wěn)定性. *簡單的光學(xué)薄膜模型是表面光滑、各向同性的均勻介質(zhì)膜層.在這種情況下,可以用光的干涉理論來研究光學(xué)薄膜的光學(xué)性質(zhì).當(dāng)一束單se光平面波入射到光學(xué)薄膜上時(shí),在它的兩個(gè)表面上發(fā)生多次反射和折射,反射光和折射光的方向有反射定律和折射定律給出,反射光和折射光的振幅大小則由菲涅爾公式確定。 江西af光學(xué)鍍膜設(shè)備成都光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家。

【光學(xué)鍍膜的好處】光學(xué)鍍膜由薄的分層介質(zhì)構(gòu)成的,通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W(xué)介質(zhì)材料。光學(xué)薄膜的應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代?,F(xiàn)代,光學(xué)薄膜已廣fan用于光學(xué)和光電子技術(shù)領(lǐng)域,制造各種光學(xué)儀器。 主要的光學(xué)薄膜器件包括反射膜、減反射膜、偏振膜、干涉濾光片和分光鏡等等。它們在國民經(jīng)濟(jì)和**建設(shè)中得到了廣 fan的應(yīng)用,獲得了科學(xué)技術(shù)工作者的日益重視。例如采用減反射膜后可使復(fù)雜的光學(xué)鏡頭的光通量損失成十倍地減小,采用高反射比的反射鏡可使激光器的輸出功率成倍提高,利用光學(xué)薄膜可提高硅光電池的效率和穩(wěn)定性。

【磁控濺射光學(xué)鍍膜設(shè)備及鍍膜方法】設(shè)備包含真空鍍膜室、磁控濺射靶組件、立式旋轉(zhuǎn)鼓,真空鍍膜室為立式圓筒形結(jié)構(gòu),立式旋轉(zhuǎn)鼓位于真空鍍膜室內(nèi),繞垂直軸線旋轉(zhuǎn),立式旋轉(zhuǎn)鼓中心設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封箱,旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)設(shè)置有膜厚測量儀表,旋轉(zhuǎn)密封箱的上部連接有旋轉(zhuǎn)軸,旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)的氣氛與真空鍍膜室隔離。多組磁控濺射靶組件設(shè)置在立式旋轉(zhuǎn)鼓wai圍的真空鍍膜室的側(cè)壁上。鍍膜方法包括將需要鍍膜的工件裝卡到鍍膜設(shè)備的立式旋轉(zhuǎn)鼓的側(cè)面,對鍍膜設(shè)備抽真空;轉(zhuǎn)動(dòng)立式旋轉(zhuǎn)鼓達(dá)到設(shè)定的轉(zhuǎn)速;啟動(dòng)射頻離子源;交替啟動(dòng)第一種材料的磁控靶靶和第二種材料的磁控靶,按工藝要求鍍制膜層。 光學(xué)鍍膜設(shè)備升級(jí)改造。

【光譜特性不良產(chǎn)生的原因】膜系設(shè)計(jì)時(shí)的膜厚、折射率允差太小,試制時(shí)的分光曲線在技術(shù)要求的邊緣,制造中稍有偏差就導(dǎo)致分光不良。設(shè)計(jì)的膜料折射率與實(shí)際的折射率有差異,或發(fā)生了變異。實(shí)被的中心波長(膜厚)與希望達(dá)到的中心波長(膜厚)有差異,或發(fā)生了変異。( tooling值(也有F值)有偏差)。制造中出了差錯(cuò);如膜料用錯(cuò)、程序用錯(cuò)、預(yù)熔時(shí)沒關(guān)擋板等。工藝條件改變:真空度、充氧星、加熱溫度、蒸發(fā)速率、基片旋轉(zhuǎn)速度、離子輔助條件等。材料變更,如不同廠家生產(chǎn)的同種光學(xué)材料(基片材料和膜料)在光學(xué)性能化學(xué)性能有所不同(有時(shí)同廠家不同生產(chǎn)批次也有不同),生產(chǎn)過程中(特別是大批量生產(chǎn))材料突然變更(末作論證),就可能造成分光不良。 用于測試分光的比較片表面特性變異,造成分光測試不良(也許鏡片的分光是OK的,可以比較二者的反射膜se)。這也許是容易忽視的一個(gè)問題,又是一個(gè)常見的可題,特別是高折射率的測試比較片表面形成一層腐蝕層,相當(dāng)于有了一層減反膜(很薄),膜層不是堆積在基片上,而是堆積在蝕層上,于是比較片上的分光就會(huì)不準(zhǔn)確、不穩(wěn)定。 光學(xué)鍍膜設(shè)備詳細(xì)鍍膜方法。江西af光學(xué)鍍膜設(shè)備

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【光學(xué)鏡片鍍膜的膜形核過程之單層生長模式(層狀生長)】單層生長模式(Frank一VanderMerwe型),又稱之為弗蘭克一范德摩夫型,是層狀生長模式。該類型的生長便是業(yè)內(nèi)說的理想的外延生長,作為同質(zhì)外延,如若是異質(zhì)外延,在引入失配位錯(cuò)之后,便形成外延生長。而在晶體失配位錯(cuò)發(fā)生前,那些沉積的原子是根據(jù)基片的晶體同期來排列的。通常把這種結(jié)構(gòu)稱作“膺結(jié)構(gòu)”。這種膜生長一般是在光學(xué)鏡片鍍膜時(shí),沉積的原子和基底原子之間的相互作用力很da,da過沉積的原子之間的聚合力的情況下,沉積的原子會(huì)構(gòu)成一種二維的簿層堆積,堆積成層狀的鍍膜生長模式。浙江光學(xué)鍍膜設(shè)備

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