【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。真空鍍膜機(jī)的主要應(yīng)用。天津全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo) 1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。 2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。 3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時(shí)應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。) 4、在連接管路中,用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。 5、按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向) 7、對(duì)于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。 8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。 9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí),可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器?!?天津全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)機(jī)組是怎樣的?
【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuum coating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。 基片substrate:膜層承受體。 試驗(yàn)基片testing substrate:在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和(或)試驗(yàn)的基片。 鍍膜材料coating material:用來制取膜層的原材料。 蒸發(fā)材料evaporation material:在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。 濺射材料sputtering material:有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。 膜層材料(膜層材質(zhì))film material:組成膜層的材料。 蒸發(fā)速率evaporation rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來的材料量,除以該時(shí)間間隔 濺射速率sputtering rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來的材料量,除以該時(shí)間間隔。 沉積速率deposition rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。 鍍膜角度coating angle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對(duì)于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制。基片通常接地位,它和靶與高頻電路無關(guān),不會(huì)象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺(tái)較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長(zhǎng)不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺(tái)上,可使樣品和控溫的樣品臺(tái)有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測(cè)溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測(cè)薄膜生長(zhǎng)過程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來越慢?
【真空鍍膜機(jī)清洗工藝要求】真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。 污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”,根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無機(jī)物或有機(jī)物。 暴露在空氣中的表面*易受到污染,污染的來源有很多種,*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。 真空鍍膜機(jī)故障解決方法?福建手機(jī)真空鍍膜機(jī)多少錢
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【真空鍍膜對(duì)環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。 基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤(rùn)滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。 對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至*小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔铩?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。 qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求??諝鉂穸萪a的地區(qū),除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。 天津全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)
成都國泰真空設(shè)備有限公司主要經(jīng)營范圍是機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑。公司業(yè)務(wù)涵蓋光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),遵守行業(yè)規(guī)范,植根于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。國泰真空憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑,讓企業(yè)發(fā)展再上新高。