【真空鍍膜設備之渦輪分子泵】： 渦輪分子泵：渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。主要用于高真空或超高真空，屬于干泵，極限真空10&7~10&8Torr，烘烤后可到10&10Torr，抽速可從50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速轉動的渦輪轉子攜帶氣體分子而獲得高真空、超高真空的一種機械真空泵。泵的轉速為10000轉/分到50000轉/分，這種泵的抽速范圍很寬，但不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵。分子泵抽速與被抽氣體的種類有關，如對氫的抽速比對空氣的抽速大20%。 真空鍍膜設備產業(yè)集群。海南中科科儀所研發(fā)的真空鍍膜設備

【真空鍍膜之真空的概念】： “真空”是指在給定空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態(tài)，就意味著該空間具有不同的分子密度。在標準狀態(tài)（STP：即0℃，101325Pa，也就是1標準大氣壓，760Torr）下，氣體的分子密度為2.68E24/m3，而在真空度為1.33E&4 Pa（1E&6Torr）時，氣體的分子密度只有3.24E16/m3。完全沒有氣體的空間狀態(tài)為Jue對真空。Jue對真空實際上是不存在的。山東真空鍍膜設備組成真空鍍膜設備升級改造。

【離子鍍膜法介紹】： 離子鍍膜技術是在真空條件下，應用氣體放電實現(xiàn)鍍膜的，即在真空室中使氣體或蒸發(fā)物質電離，在氣體離子或被蒸發(fā)物質離子的轟擊下、同時將蒸發(fā)物或其反應產物蒸鍍在基片上。根據(jù)不同膜材的氣化方式和離化方式可分為不同類型的離子鍍膜方式。膜材的氣化方式有電阻加熱、電子束加熱、等離子電子束加熱、高頻感應加熱、陰極弧光放電加熱等。氣體分子或原子的離化和激huo方式有：輝光放電型、電子束型、熱電子型、等離子電子束型、多弧型及高真空電弧放電型，以及各種形式的離子源等。不同的蒸發(fā)源與不同的電離或激發(fā)方式可以有多種不同的組合。常用的組合方式有：直流二極型(DCIP)、多陰極型、活性反應蒸鍍法(ABE)、空心陰極離子鍍(HCD)、射頻離子鍍(RFIP)等。

【離子鍍的歷史】： 真空離子鍍膜技術是近幾十年才發(fā)展起來的一種新的鍍膜技術。在離子鍍技術興起的40多年來取得了巨大的進步，我國也有將近30多年的離子鍍研究進程。 【離子鍍的原理】： 蒸發(fā)物質的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱為離子鍍。蒸發(fā)源接陽極，工件接陰極，當通以三至五千伏高壓直流電以后，蒸發(fā)源與工件之間產生輝光放電。由于 真空罩內充有惰性氬氣，在放電電場作用下部分氬氣被電離，從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表 面，致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出，從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后，接通蒸發(fā)源交流電源，蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā)，進入輝光放電區(qū)并 被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子，在陰極吸引下，隨同氬離子一同沖向工件，當拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時，則逐漸堆積形成一層牢固粘 附于工件表面的鍍層。 【離子鍍的優(yōu)缺點】： 優(yōu)點：膜層附著力好，膜層致密，具有繞度性能，能在形狀復雜的零件表面鍍膜。 缺點：離子鍍的應用范圍不廣；膜與基體間存在較寬的過渡界面。會有氣體分子吸附。關于真空鍍膜設備，你知道多少？

【離子鍍膜法之射頻離子鍍】： 射頻離子鍍(RFIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化；依靠射頻等離子體放電使充入的真空Ar及其它惰性氣體、反應氣體氧氣、氮氣、乙炔等離化。這種方法的特點是：基板溫升小，不純氣體少，成膜好，適合鍍化合物膜，但匹配較困難?？蓱糜阱児鈱W器件、半導體器件、裝飾品、汽車零件等。射頻離子鍍膜設備對周遭環(huán)境沒有不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的工業(yè)發(fā)展方向。目前，該類型設備已經(jīng)guang泛用在硬質合金立銑刀、可轉位銑刀、焊接工具、階梯鉆、鉆頭、鉸刀、油孔鉆、車刀、異型刀具、絲錐等工具的鍍膜處理上。 此外，離子鍍法還包括有低壓等離子體離子鍍，感應離子加熱鍍，集團離子束鍍和多弧離子鍍等多種方法。紅外真空鍍膜設備制造商。安徽真空鍍膜設備招聘

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【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜強度】： 膜強度時鏡片鍍膜的一項重要指標，也是鍍膜工序Zui常見的不良項。 膜強度的不良（膜弱）主要表現(xiàn)為： 1. 擦拭專yong膠帶拉撕，產生成片脫落 2. 擦拭專yong膠帶拉撕，產生點狀脫落 3. 水煮15分鐘后用專yong膠帶拉撕產生點狀或片狀脫落 4. 用專yong橡皮頭、1Kg力摩擦40次，有道子產生 5. 膜層擦拭或未擦拭出現(xiàn)龜裂紋、網(wǎng)狀細道子 改善思路：基片與膜層的結合是首要考慮的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜應力。 海南中科科儀所研發(fā)的真空鍍膜設備

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