【真空鍍膜設(shè)備之真空的測量】: 真空計: A、熱偶規(guī)、皮拉尼規(guī)、對流規(guī): 用來測粗真空的真空計,從大氣到1E&5Torr,精度一般在10%,皮拉尼規(guī)精度高的可到5%, 反應(yīng)較慢,受溫度變化的影響較大。 B、離子規(guī): 用來測高真空或超高真空的真空計,熱燈絲的離子規(guī)測量范圍一般從1E&4到1E&9Torr,特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr,精度在10%~20%,燈絲在工作時遇到大氣會燒毀;冷陰極的離子規(guī)一般可以測到1E&11Torr,精度在20%~50%,特別是超高真空下測量精度很差,需要高壓電源,探頭內(nèi)有磁鐵,使用時不能用于某些無磁的場合。 C、電容式壓力計: 探頭Zui大壓力從25000Torr到0.1Torr,動態(tài)范圍大約104范圍,比如,1Torr量程的Zui低是5E&4Torr,通常精度在讀數(shù)的0.25%,可以高到0.15%。 D、寬量程真空計: 皮拉尼規(guī)和熱燈絲離子規(guī)的組合,兩個規(guī)可以自動切換,在低真空時切換到皮拉尼規(guī),高真空時可切換到離子規(guī)。真空鍍膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)集群。廣西真空鍍膜設(shè)備抽真空多少
【離子鍍的歷史】: 真空離子鍍膜技術(shù)是近幾十年才發(fā)展起來的一種新的鍍膜技術(shù)。在離子鍍技術(shù)興起的40多年來取得了巨大的進(jìn)步,我國也有將近30多年的離子鍍研究進(jìn)程。 【離子鍍的原理】: 蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱為離子鍍。蒸發(fā)源接陽極,工件接陰極,當(dāng)通以三至五千伏高壓直流電以后,蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生輝光放電。由于 真空罩內(nèi)充有惰性氬氣,在放電電場作用下部分氬氣被電離,從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負(fù)高壓的吸引,猛烈地轟擊工件表 面,致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出,從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后,接通蒸發(fā)源交流電源,蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā),進(jìn)入輝光放電區(qū)并 被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子,在陰極吸引下,隨同氬離子一同沖向工件,當(dāng)拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘 附于工件表面的鍍層。 【離子鍍的優(yōu)缺點(diǎn)】: 優(yōu)點(diǎn):膜層附著力好,膜層致密,具有繞度性能,能在形狀復(fù)雜的零件表面鍍膜。 缺點(diǎn):離子鍍的應(yīng)用范圍不廣;膜與基體間存在較寬的過渡界面。會有氣體分子吸附。浙江真空鍍膜設(shè)備哪里生產(chǎn)真空鍍膜設(shè)備廠家前幾。
【濺射鍍膜定義】: 定義:所謂濺射,就是這充滿腔室的工藝氣體在高電壓的作用下,形成氣體等離子體(輝光放電),其中的陽離子在電場力作用下高速向靶材沖擊,陽離子和靶材進(jìn)行能量交換,使靶材原子獲得足夠的能量從靶材表面逸出(其中逸出的還可能包含靶材離子)。這一整個的動力學(xué)過程,就叫做濺射。入射離子轟擊靶面時,將其部分能量傳輸給表層晶格原子,引起靶材中原子的運(yùn)動。有的原子獲得能量后從晶格處移位,并克服了表面勢壘直接發(fā)生濺射;有的不能脫離晶格的束縛,只能在原位做振動并波及周圍原子,結(jié)果使靶的溫度升高;而有的原子獲得足夠大的能量后產(chǎn)生一次反沖,將其臨近的原子碰撞移位,反沖繼續(xù)下去產(chǎn)生高次反沖,這一過程稱為級聯(lián)碰撞。級聯(lián)碰撞的結(jié)果是部分原子達(dá)到表面,克服勢壘逸出,這就形成了級聯(lián)濺射,這就是濺射機(jī)理。當(dāng)級聯(lián)碰撞范圍內(nèi)反沖原子密度不高時,動態(tài)反沖原子彼此間的碰撞可以忽略,這就是線性級聯(lián)碰撞。
【光學(xué)鍍膜的目的】:
&反射率的提高或透射率的降低
&反射率的降低或透射率的提高
&分光作用:中性分光、變色分光、偏極光分光
&光譜帶通、帶止及長波通或短波通之濾光作用
&相位改變
&液晶顯示功能之影顯
&色光顯示、色光反射、偽chao及有價證券之防止
&光波的引導(dǎo)、光開關(guān)及集體光路
a. 在膜層中,波的干涉結(jié)果,如R%, T%都是與膜質(zhì)本身和兩邊界邊的折射率率有關(guān)系,相位變化也是如此。
b. 由于干涉作用造成的反射率有時升高,有時反而降低,都要視磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,則反射率會提高(Ns為基底),若Nf 【真空鍍膜機(jī)常見故障】:
一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降
1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈)
2. 坩堝被打穿(更換坩堝)
3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)
4. 工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)
8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)
9. 擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)
二、長期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時間很長且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空:
1. 蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清洗)
2. 擴(kuò)散泵很久未換油(應(yīng)清洗換油)
3. 前級泵反壓強(qiáng)大太機(jī)械泵真空度太低(應(yīng)清洗換油)
4. 各動密封膠圈損壞(更換膠圈)
5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)
6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)
7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊)
8. 高低預(yù)閥是否密封可靠(注油)
關(guān)于真空鍍膜設(shè)備,你知道多少?中國臺灣真空鍍膜設(shè)備有什么作用 紅外真空鍍膜設(shè)備制造商。廣西真空鍍膜設(shè)備抽真空多少 【真空鍍膜設(shè)備之渦輪分子泵】:
渦輪分子泵:渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。主要用于高真空或超高真空,屬于干泵,極限真空10&7~10&8Torr,烘烤后可到10&10Torr,抽速可從50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的渦輪轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子而獲得高真空、超高真空的一種機(jī)械真空泵。泵的轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn)/分到50000轉(zhuǎn)/分,這種泵的抽速范圍很寬,但不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。分子泵抽速與被抽氣體的種類有關(guān),如對氫的抽速比對空氣的抽速大20%。
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