【真空鍍膜簡介】: 真空(vacuum)是一種沒有任何物質(zhì)的空間狀態(tài),因為真空之中沒有介質(zhì),所以像聲音這種需要介質(zhì)傳遞的能量在真空中是無法傳播的。1654年當時的馬德堡市zhang奧&托&格里克在今tian德國雷根斯堡進行了一項實驗,從而證明了真空是存在的?,F(xiàn)在我們所說的真空并不是指空間內(nèi)沒有任何物質(zhì),而是指在一個既定的空間內(nèi)低于一個大氣壓的氣體狀態(tài),我們把這種稀薄的狀態(tài)稱為真空?,F(xiàn)在的真空鍍膜技術是在真空中把金屬、合金進行蒸發(fā)、濺射使其沉積在目標物體上。 在當今電子行業(yè),很多的電子元器件都要使用真空鍍膜工藝,雖然我國的真空鍍膜技術起步較晚,但發(fā)展的十分迅速。真空鍍膜已經(jīng)成為電子元器件制造的一項不可或缺的技術。目前的真空鍍膜技術主要分為:真空蒸鍍、磁控濺射鍍膜、離子鍍。 成都國泰真空鍍膜設備怎么樣?海南派瑞林真空鍍膜設備
【濺射的四要素】:①靶材物質(zhì),②電磁場,③底物,④一整套完整配備的鍍膜設備 【濺射收益】:1)離子每一次撞擊靶材時,靶材所釋放出的靶材原子;2)影響濺射收益的因素: ①等離子體中離子動能, ②入射離子的入射角度; 3)Zui大濺射收益的決定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質(zhì); 4)入射角度的影響因素 ①由電場決定,②靶材表面于入射源的相對角度。 【濺射率】: 定義:每單位時間內(nèi)靶材物質(zhì)所釋放出的原子個數(shù)。 濺射率的影響因素:①離子動能(取決于電源電壓和氣體壓力)②等離子密度(取決于氣體壓力和電流)。統(tǒng)計學公式:Rs(統(tǒng)計學)=d/t。 注:濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間,因此在腔室內(nèi)所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜,久之會產(chǎn)生污染。所以真空濺射腔室內(nèi)必須進行定期清潔。 江西真空鍍膜設備的保養(yǎng)錦成國泰真空鍍膜設備怎么樣?
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之破邊、炸裂】: 一般的鍍膜會對基片加熱,由于基片是裝架在金屬圈、碟內(nèi),由于鏡圈或碟片與鏡片(基片)的熱膨脹系數(shù)不一致,冷卻過程中會造成鏡片的破便或炸裂。 有些大鏡片,由于出罩時的溫度較高,與室溫的溫差較大,鏡片的熱應力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。 改善對策: 1. 夾具(鏡圈、碟片)的設計,在尺寸配合上要合理,充分考慮制造誤差帶來的影響。 2. 注意鏡圈、碟片的變形,已經(jīng)變形的夾具不能使用。 3. 選用合適的夾具才來哦(非導磁材料、不生銹、耐高溫不變性),不銹鋼較為理想(熱變形系數(shù)小),就是加工難度大,價格貴。 4. 對于大鏡片應降低出罩時的溫度,減少溫差,防止炸裂。 5. 如果時鏡圈,可以考慮在鏡圈上開槽,作為緩沖。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜色差異】: 膜色差異有兩種(不含色斑),一種時整罩上、中、下膜色不一致,即分光測試曲線有差異;二是單片膜色不一致。 改善對策: 1. 調(diào)整修正版,盡量考慮高低折射率膜料的平衡兼容,如果有兩個蒸發(fā)源,可能的條件下,獨li使用各自的修正板,避免干擾。 2. 條件許可,采用行星夾具。 3. 傘片整形。 4. 加強傘片管理。 5. 改善膜料狀況 6. 能夠自動預熔的膜料,盡量自動預熔 注:修正板對物理膜厚的修正有效,但對折射率的修正是力不從心的,所以完全靠修正板解決分光均勻性,是很困難的。如果一個修正板對應二把電子搶(蒸發(fā)源)、以及多種膜料,就會有較大困難。 真空鍍膜設備升級改造。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜強度】: 膜強度時鏡片鍍膜的一項重要指標,也是鍍膜工序Zui常見的不良項。 膜強度的不良(膜弱)主要表現(xiàn)為: 1. 擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生成片脫落 2. 擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生點狀脫落 3. 水煮15分鐘后用專yong膠帶拉撕產(chǎn)生點狀或片狀脫落 4. 用專yong橡皮頭、1Kg力摩擦40次,有道子產(chǎn)生 5. 膜層擦拭或未擦拭出現(xiàn)龜裂紋、網(wǎng)狀細道子 改善思路:基片與膜層的結合是首要考慮的,其次是膜表面硬度光滑度以及膜應力。 成都真空鍍膜設備廠家有哪些?北京馳誠真空鍍膜設備
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【真空鍍膜濺射種類】: 1、反應濺射:氧化物,氮化物作為沉積物質(zhì) 現(xiàn)象:①:靶材分子分裂,其于工藝氣體離子發(fā)生反應,形成化合物 ②:膜層性能改變 ③:靶材有可能中毒 2、二極濺射:二極濺射是一種經(jīng)典的標準濺射技術,其中等離子體和電子均只沿著電場方向運動。 特征:①:無磁場 ②:濺射率低 ③:放電電壓高(>500V) ④:鍍膜底物受熱溫度極易升高(>500°C) 用途:主要用于金屬靶材、絕緣靶材、磁性靶材等的濺射鍍。 3、磁控濺射:暗區(qū)無等離子體產(chǎn)生,在磁控濺射下,電子呈螺旋形運動,不會直接沖向陽極。而是在電場力和磁場力的綜合作用在腔室內(nèi)做螺旋運動。同時獲的能量而和工藝氣體以及濺射出的靶材原子進行能量交換,使氣體及靶材原子離子化,dada提高氣體等離子體密度,從而提高了濺射速率(可提高10—20倍)和濺射均勻性。 海南派瑞林真空鍍膜設備
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