【真空鍍膜設(shè)備之低溫泵】: 低溫泵:低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。主要用于高真空或超高真空,屬于干泵,工作方式為氣體捕集。極限真空&6~&9Torr。 用低溫介質(zhì)將抽氣面冷卻到20K 以下,抽氣面就能大量冷凝沸點(diǎn)溫度比該抽氣面溫度高的氣體,產(chǎn)生很大的抽氣作用。這種用低溫表面將氣體冷凝而達(dá)到抽氣目的的泵叫做低溫泵,或稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Zui大、極限壓力Zui低的清潔真空,guang泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。 真空鍍膜設(shè)備抽真空步驟。湖南寶鑫真空鍍膜設(shè)備
【真空鍍膜機(jī)常見故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空: 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清洗) 2. 擴(kuò)散泵很久未換油(應(yīng)清洗換油) 3. 前級(jí)泵反壓強(qiáng)大太機(jī)械泵真空度太低(應(yīng)清洗換油) 4. 各動(dòng)密封膠圈損壞(更換膠圈) 5. 由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化(更換膠圈) 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈) 7. 各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象(重新壓緊) 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠(注油) 中國(guó)臺(tái)灣磁控濺射真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)廠家真空鍍膜設(shè)備技術(shù)教程。
【真空鍍膜真空的基本概念】: 真空的劃分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 極高真空 <10E&12Torr 流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過(guò)氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越大,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越大。 流量:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流過(guò)任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。 抽氣速率:在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。單位一般為L(zhǎng)/S或m3/hr或CFM。 極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。
【真空鍍膜濺射種類】: 1、反應(yīng)濺射:氧化物,氮化物作為沉積物質(zhì) 現(xiàn)象:①:靶材分子分裂,其于工藝氣體離子發(fā)生反應(yīng),形成化合物 ②:膜層性能改變 ③:靶材有可能中毒 2、二極濺射:二極濺射是一種經(jīng)典的標(biāo)準(zhǔn)濺射技術(shù),其中等離子體和電子均只沿著電場(chǎng)方向運(yùn)動(dòng)。 特征:①:無(wú)磁場(chǎng) ②:濺射率低 ③:放電電壓高(>500V) ④:鍍膜底物受熱溫度極易升高(>500°C) 用途:主要用于金屬靶材、絕緣靶材、磁性靶材等的濺射鍍。 3、磁控濺射:暗區(qū)無(wú)等離子體產(chǎn)生,在磁控濺射下,電子呈螺旋形運(yùn)動(dòng),不會(huì)直接沖向陽(yáng)極。而是在電場(chǎng)力和磁場(chǎng)力的綜合作用在腔室內(nèi)做螺旋運(yùn)動(dòng)。同時(shí)獲的能量而和工藝氣體以及濺射出的靶材原子進(jìn)行能量交換,使氣體及靶材原子離子化,dada提高氣體等離子體密度,從而提高了濺射速率(可提高10—20倍)和濺射均勻性。 真空鍍膜設(shè)備怎么保養(yǎng)?
【真空鍍膜真空蒸發(fā)鍍膜原理】: 真空蒸發(fā)法的原理是:在真空條件下,用蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)材料,使之蒸發(fā)或升華進(jìn)入氣相,氣相粒子流直接射向基片上沉積或結(jié)晶形成固態(tài)薄膜;由于環(huán)境是真空,因此,無(wú)論是金屬還是非金屬,在這種情況下蒸發(fā)要比常壓下容易得多。真空蒸發(fā)鍍膜是發(fā)展較早的鍍膜技術(shù),其特點(diǎn)是:設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單,沉積速率快,膜層純度高,制膜材料及被鍍件材料范圍很廣,鍍膜過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)化,應(yīng)用相當(dāng)guang泛。按蒸發(fā)源的不同,主要分為:電阻加熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、電弧蒸發(fā)和激光蒸發(fā)等。 真空鍍膜設(shè)備的工作原理。湖南奧普光電有真空鍍膜設(shè)備嗎
真空鍍膜設(shè)備機(jī)組介紹。湖南寶鑫真空鍍膜設(shè)備
近一段時(shí)期,中美貿(mào)易摩擦持續(xù)影響對(duì)外貿(mào)易發(fā)展,機(jī)械行業(yè)加工企業(yè)通過(guò)多種渠道加強(qiáng)深化與傳統(tǒng)貿(mào)易伙伴的合作,并積極拓展新貿(mào)易伙伴、謀求新發(fā)展。在機(jī)械行業(yè)中主要研發(fā)產(chǎn)品有光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備等,現(xiàn)如今在市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)體制的影響下,企業(yè)為積極參與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng),實(shí)施品牌戰(zhàn)略,大力發(fā)展自主品牌,創(chuàng)立了自己的品牌,才能在競(jìng)爭(zhēng)中贏得一席之地。隨著有限責(zé)任公司產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的持續(xù)推進(jìn),近幾年中國(guó)人口老齡化的日益嚴(yán)峻,勞動(dòng)力短缺,人力成本明顯上升,智能化已成為大勢(shì)所趨,工程機(jī)械也不例外。我國(guó)是全球極大的一般項(xiàng)目:泵及真空設(shè)備制造‘泵及真空設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;光學(xué)儀器銷售;光學(xué)玻璃銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售;電子元器件批發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。生產(chǎn)國(guó)和出口國(guó),擁有完整的產(chǎn)業(yè)鏈布局。一般項(xiàng)目:泵及真空設(shè)備制造‘泵及真空設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;光學(xué)儀器銷售;光學(xué)玻璃銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售;電子元器件批發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)支柱產(chǎn)業(yè)和重要的民生產(chǎn)業(yè)。目前我國(guó)纖維加工量占世界總量的50%以上,一般項(xiàng)目:泵及真空設(shè)備制造‘泵及真空設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;光學(xué)儀器銷售;光學(xué)玻璃銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售;電子元器件批發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。產(chǎn)業(yè)規(guī)模位居世界優(yōu)先。湖南寶鑫真空鍍膜設(shè)備
成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)管理的追求。國(guó)泰真空深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)?,為客戶提供高品質(zhì)的光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備。國(guó)泰真空繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長(zhǎng),又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。國(guó)泰真空始終關(guān)注機(jī)械及行業(yè)設(shè)備市場(chǎng),以敏銳的市場(chǎng)洞察力,實(shí)現(xiàn)與客戶的成長(zhǎng)共贏。