【濺射的四要素】:①靶材物質(zhì),②電磁場,③底物,④一整套完整配備的鍍膜設(shè)備 【濺射收益】:1)離子每一次撞擊靶材時,靶材所釋放出的靶材原子;2)影響濺射收益的因素: ①等離子體中離子動能, ②入射離子的入射角度; 3)Zui大濺射收益的決定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質(zhì); 4)入射角度的影響因素 ①由電場決定,②靶材表面于入射源的相對角度。 【濺射率】: 定義:每單位時間內(nèi)靶材物質(zhì)所釋放出的原子個數(shù)。 濺射率的影響因素:①離子動能(取決于電源電壓和氣體壓力)②等離子密度(取決于氣體壓力和電流)。統(tǒng)計學公式:Rs(統(tǒng)計學)=d/t。 注:濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間,因此在腔室內(nèi)所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜,久之會產(chǎn)生污染。所以真空濺射腔室內(nèi)必須進行定期清潔。 PVD真空鍍膜設(shè)備公司。中國臺灣真空鍍膜設(shè)備技術(shù)
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜色差異】: 膜色差異有兩種(不含色斑),一種時整罩上、中、下膜色不一致,即分光測試曲線有差異;二是單片膜色不一致。 改善對策: 1. 調(diào)整修正版,盡量考慮高低折射率膜料的平衡兼容,如果有兩個蒸發(fā)源,可能的條件下,獨li使用各自的修正板,避免干擾。 2. 條件許可,采用行星夾具。 3. 傘片整形。 4. 加強傘片管理。 5. 改善膜料狀況 6. 能夠自動預熔的膜料,盡量自動預熔 注:修正板對物理膜厚的修正有效,但對折射率的修正是力不從心的,所以完全靠修正板解決分光均勻性,是很困難的。如果一個修正板對應(yīng)二把電子搶(蒸發(fā)源)、以及多種膜料,就會有較大困難。 福建真空鍍膜設(shè)備項目磁控濺射真空鍍膜設(shè)備是什么?
【真空鍍膜二極濺射與磁控濺射對比】: 靶材利用率(TU):是指發(fā)生濺射的靶材質(zhì)量占原靶材質(zhì)量的比率。 公式表示:靶材利用率={原靶材質(zhì)量(Kg)—濺射后靶材質(zhì)量}/原靶材質(zhì)量 注:①:磁控濺射靶材利用率稍低,電壓要求低,電流會高,濺射率提高,增加生產(chǎn)效率,降低成本。 ②:靶材使用壽命結(jié)素之前必須及時更換新靶材,防止靶材周圍物質(zhì)發(fā)生濺射(金屬箔片、連接片、陰極) 兩種濺射技術(shù)的區(qū)別: ①:靶材利用率不同 ②:濺射腔室和陰極設(shè)計要求不同 ③:放電電流和放電電壓不同 ④:濺射率不同:磁控濺射有更短的沉積時間,更高的沉積量和更短沉積周期。
【真空鍍膜設(shè)備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設(shè)備和化學沉積設(shè)備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應(yīng)用領(lǐng)域上可以分成以下幾類: 傳統(tǒng)光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設(shè)備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設(shè)備,濺射式鍍膜設(shè)備。 新材料領(lǐng)域的柔性設(shè)備:卷對卷柔性鍍膜設(shè)備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設(shè)備。 半導體及相似工藝:化學氣相沉積設(shè)備。 功能膜:多弧離子鍍設(shè)備,濺射設(shè)備,蒸發(fā)設(shè)備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線 其余的就得歸到“工藝定制設(shè)備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設(shè)備,太陽能的共蒸發(fā)設(shè)備,光纖鍍膜設(shè)備,太陽能管設(shè)備等等 真空鍍膜設(shè)備的工作原理和構(gòu)成。
【真空鍍膜改善薄膜應(yīng)力】: 1. 鍍后烘烤,Zui后一層膜鍍完后,烘烤不要馬上停止,延續(xù)10分鐘“回火”。讓膜層結(jié)構(gòu)趨于穩(wěn)定。 2. 降溫時間適當延長,退火時效。減少由于真空室內(nèi)外溫差過大帶來的熱應(yīng)力。 3. 對高反膜、濾光膜等在蒸鍍過程中,基片溫度不宜過高,高溫易產(chǎn)生熱應(yīng)力。并且對氧化鈦、氧化鉭等膜料的光學穩(wěn)定性有負面影響。 4. 鍍膜過程離子輔助,減少應(yīng)力。 5. 選擇合適的膜系匹配,第yi層膜料與基片匹配。 6. 適當減小蒸發(fā)速率。 7. 對氧化物膜料全部充氧反應(yīng)鍍,根據(jù)不同膜料控制氧進氣量。 真空鍍膜設(shè)備怎么維修。新疆真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展
真空鍍膜設(shè)備怎么保養(yǎng)?中國臺灣真空鍍膜設(shè)備技術(shù)
【光譜分光不良的補救(補色)之其他情況】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之其他情況: 對于用錯程序,錯誤操作(預熔未關(guān)閉擋板等)人為中斷需要補救的;以及反光膜、濾光膜鍍后需要補救的情況處理方案: 模擬:將實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設(shè)計程序的優(yōu)化目標值。通過計算機模擬(一般是Zui后一層的膜厚確認),找到與實現(xiàn)測試值結(jié)果相應(yīng)的膜系數(shù)據(jù)。 優(yōu)化:根據(jù)模擬得到的膜系數(shù)據(jù),輸入產(chǎn)品要求的優(yōu)化目標值,通過加層、優(yōu)化后續(xù)膜層的方法,重新優(yōu)化設(shè)計一個補救膜系。 試鍍:確認、完善補救膜系效果 補救鍍:完成補救工作 中國臺灣真空鍍膜設(shè)備技術(shù)
成都國泰真空設(shè)備有限公司位于成都海峽兩岸科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)園科林西路618號。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細節(jié),公司旗下光學鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學真空鍍膜機,紅外鍍膜設(shè)備深受客戶的喜愛。公司從事機械及行業(yè)設(shè)備多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計、強大的技術(shù),還有一批**的專業(yè)化的隊伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。國泰真空立足于全國市場,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。