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浙江實(shí)驗(yàn)室用真空鍍膜機(jī)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-01-03

【真空鍍膜真空的基本概念】: 真空的劃分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 極高真空 <10E&12Torr 流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過(guò)氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越da,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越da。 流量:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流過(guò)任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。 抽氣速率:在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。單位一般為L(zhǎng)/S或m3/hr或CFM。 極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。真空鍍膜機(jī)日常怎么維護(hù)?浙江實(shí)驗(yàn)室用真空鍍膜機(jī)

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝要求】真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。 污染物可以定義為“任何一種無(wú)用的物質(zhì)或能量”,根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來(lái)看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無(wú)機(jī)物或有機(jī)物。 暴露在空氣中的表面zui易受到污染,污染的來(lái)源有很多種,zui初的污染通常是表面本身形成過(guò)程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過(guò)程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過(guò)程都使各種成分的表面污染物增加。 上海磁控真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)的操作培訓(xùn)。

【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥,用來(lái)連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuum coating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。 基片substrate:膜層承受體。 試驗(yàn)基片testing substrate:在鍍膜開(kāi)始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和(或)試驗(yàn)的基片。 鍍膜材料coating material:用來(lái)制取膜層的原材料。 蒸發(fā)材料evaporation material:在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。 濺射材料sputtering material:有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。 膜層材料(膜層材質(zhì))film material:組成膜層的材料。 蒸發(fā)速率evaporation rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔 濺射速率sputtering rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。 沉積速率deposition rate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。 鍍膜角度coating angle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。 關(guān)于真空鍍膜機(jī),你知道多少?

【真空鍍膜機(jī)沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對(duì)于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運(yùn)行后),由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定,這時(shí)對(duì)它們進(jìn)行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?,通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應(yīng)氣體工藝,可以進(jìn)行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0 )和還原性氣體(H2、N H3)對(duì)金屬表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì),表面反應(yīng)速率的da小通過(guò)調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來(lái)控制。對(duì)于每一種基材而言,精確的參數(shù)要通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定.對(duì)于不同的結(jié)晶取向,這些參數(shù)是不同的。真空鍍膜機(jī)的工作原理。河北南光真空鍍膜機(jī)

真空鍍膜機(jī)是什么樣的?浙江實(shí)驗(yàn)室用真空鍍膜機(jī)

【真空鍍膜機(jī)之鍍鋅工藝】在鋼鐵合金材料的表面鍍一層鋅以起美觀、防銹等作用的表面處理技術(shù),表面的鋅層是一種電化學(xué)保護(hù)層,可以防止金屬腐壞,主要采用的方法是熱鍍鋅和電鍍鋅。 適用材料: 由于鍍鋅工藝依賴于冶金結(jié)合技術(shù),所以只適合鋼和鐵的表面處理。 工藝成本:無(wú)模具費(fèi)用,周期短/人力成本中等,因?yàn)楣ぜ谋砻尜|(zhì)量很da程度上取決于鍍鋅前的人工表面處理。 環(huán)境影響:由于鍍鋅工藝增長(zhǎng)了鋼鐵件40-100年的使用壽命,很好的防止了工件的生銹和腐壞,所以對(duì)保護(hù)壞境有積極的作用。另外,鍍過(guò)鋅的工件在使用壽命到期后,可以重新送返鍍鋅槽,對(duì)液態(tài)鋅的反復(fù)利用不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)或物理廢料。 浙江實(shí)驗(yàn)室用真空鍍膜機(jī)

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