無塵室溫濕度控制方法：

1、無塵室溫濕度維護(hù)管理。

①無塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。

②隔間板、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵控制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專門使用器等。

2、室內(nèi)發(fā)塵不積留。

墻壁體應(yīng)光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。

3、發(fā)生塵埃排除。

換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。

無塵室內(nèi)穿著潔凈服。中山10000級(jí)無塵室

無塵室的等級(jí)是依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到。贛州無塵室無塵室中不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能特性。

潔凈室的管理與維護(hù)： 1、根據(jù)自凈時(shí)間確定工作前提前開機(jī)時(shí)間。 2、凈化系統(tǒng)開機(jī)運(yùn)行時(shí)，應(yīng)先開空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，然后開回風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)；停機(jī)則相反。 3、凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)定期進(jìn)行清潔。 4、空氣過濾器應(yīng)定期監(jiān)測(cè)阻力，粗、中效過濾器應(yīng)經(jīng)常清洗、更換。 5、一般應(yīng)根據(jù)室外含塵濃度，在粗、中效過濾器阻力達(dá)到初阻力2倍時(shí)，進(jìn)行更換。 6、正常情況，粗效過濾器的濾材每7-15天清洗一次；中效過濾器的濾材每月清洗或更換。 7、高效過濾器當(dāng)監(jiān)測(cè)阻力達(dá)到初阻力2倍時(shí)，需進(jìn)行更換。

    無塵室建造選址：無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。1、廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。2、廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場(chǎng)地、停車庫、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實(shí)際需要配套,缺一都會(huì)影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。3、設(shè)置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對(duì)位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對(duì)位置,適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護(hù)距離的原則。 在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。

    21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無塵室的含義是什么？江門十萬級(jí)無塵室咨詢

無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。中山10000級(jí)無塵室

無塵室和凈化空調(diào)系統(tǒng)是息息相關(guān)的，在長期的使用過程中，空調(diào)系統(tǒng)也會(huì)產(chǎn)生各種不同的細(xì)菌，這對(duì)無塵室的實(shí)際作用也會(huì)產(chǎn)生一定的影響，因此，需要進(jìn)行定期的清洗消毒，來提高實(shí)際的使用效率。我們?yōu)榱耸篃o塵室內(nèi)能夠保持所需要的溫度、濕度、風(fēng)速、壓力和潔凈度等重要參數(shù)，通常**常用的方法是向室內(nèi)不斷送入一定量并且經(jīng)過處理的空氣，這樣才能更好的消除無塵室內(nèi)外各種熱濕干擾及塵埃污染，我們?yōu)楂@取無塵室能夠具有一定狀態(tài)的空氣，就需要一整套的設(shè)備對(duì)空氣不斷地進(jìn)行處理，并不斷送入室內(nèi)，又不斷從室內(nèi)排出一部分來，這一整套設(shè)備就構(gòu)成了凈化空調(diào)系統(tǒng)。中山10000級(jí)無塵室

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