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珠海百級無塵室咨詢

來源: 發(fā)布時間:2021-12-01

我們有很多人都不知道簡易無塵室和無塵車間對于材料的選擇是不一樣的,其中簡易無塵室對于框架一般可分為三種:不銹鋼方通、烤漆鐵方通以及工業(yè)鋁型材,頂部及可用不銹鋼鋼板、烤漆冷塑鋼板、防靜電網(wǎng)格簾及壓克力有機玻璃等材料。周圍一般都是采用防靜電網(wǎng)格簾或是有機玻璃,送風(fēng)部用均采用FFU潔凈送風(fēng)單元。而無塵車間一般采用泡沫彩鋼或是巖棉板吊頂有立墻,有單獨的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),空氣經(jīng)過初中高效三級過濾,人員及物料配有風(fēng)淋室及傳遞窗潔凈過濾。


無塵室(亦稱潔凈室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。珠海百級無塵室咨詢

    21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。贛州百級無塵室無塵室日常管理需要注意的問題;

無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。

    萬級無塵室等級標(biāo)準如下:1.塵粒比較大允許數(shù)(每立方米);2.大或等于,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個;3.微生物比較大允許數(shù);4.浮游菌數(shù)不得超過100個每立方米;5.沉隆菌數(shù)不得超過3個每培養(yǎng)皿。6.壓差:相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。7.萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,8.溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。9.配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。10.噪聲控制一、動態(tài)測試時,萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。二、靜態(tài)測試時,萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。 無塵室的分類有哪些?

無塵室人員管理,制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理,物料進入、各類設(shè)備進入,以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理,包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理,對于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴格各類設(shè)備、設(shè)施的維護管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。無塵室能防止微塵粒子之產(chǎn)生。中山10000級無塵室方案

無塵室該怎么清潔呢?珠海百級無塵室咨詢

通常無塵室的氣流設(shè)計工藝為單向氣流,無塵室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計和擺放應(yīng)充分考慮到氣流的方向不被阻礙。無塵室既然是潔凈室,顧名思義它就是為了控制污染源,提高產(chǎn)品潔凈度而設(shè)計的高潔凈度生產(chǎn)車間。造成污染源的因素有很多,而人的因素是污染比較大的源頭,所以對人的行為等控制相對也會嚴格一些,當(dāng)然其它因素也是不容忽視的??偠灾?,它只是比普通環(huán)境更加干凈的工作車間,并不會對人體造成任何威脅,要保證潔凈室的環(huán)境必須進行嚴格控制,單單靠硬件工作是不夠的,外來的污染源頭也是我們在無塵室環(huán)境污染控制的重中之重!


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