輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝?，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來(lái)計(jì)算決定。夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。常州特氣管道安裝注意事項(xiàng)

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)。分類，特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。南京實(shí)驗(yàn)室特氣管道安裝配件現(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。

隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技不斷自主進(jìn)步，半導(dǎo)體等對(duì)特氣有需求的行業(yè)領(lǐng)域也在不斷擴(kuò)大，特氣管道在我們的日常生活中應(yīng)用也越加的普遍起來(lái)。特氣管道一般采用電解研磨方式加工的EP管，充氬氣加熱處理而成。所以，為了讓大家后期在購(gòu)買特氣管道產(chǎn)品之后能夠自如的安裝，避免安裝過程中老是出錯(cuò)。特氣系統(tǒng)大致由特氣設(shè)備、特種氣體管道和使用終端三部分組成，其中，特種氣體管道工程作為特種氣體的供氣端和使用端的樞紐，是一項(xiàng)比較重要又危險(xiǎn)的工程。

系統(tǒng)檢測(cè)，特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測(cè)的精密度。水、氧測(cè)試采用水氧分析儀；顆粒度測(cè)試目前基本采用激光顆粒測(cè)試儀，精度達(dá)到0.1微米；而對(duì)要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試根據(jù)具體要求確定。特氣管道安裝一般采用充氬氣加熱處理而成，EP管采用電解研磨方式加工而成。其內(nèi)、外表面極其光亮。潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對(duì)焊縫的要求外，還要求焊接時(shí)管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。特氣管道安裝可以改善家庭裝修效果。

特氣管道工程安裝幾個(gè)安全要點(diǎn)：1、所有管道的支吊架必須符合規(guī)范及設(shè)計(jì)要求并按照標(biāo)準(zhǔn)圖集中的要求制作與安裝。管道支架或管卡應(yīng)固定在樓板上或承重結(jié)構(gòu)上。應(yīng)按設(shè)計(jì)要求或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)圖集中對(duì)管道固定支架的型式進(jìn)行選擇。嚴(yán)禁將管道支、吊架直接焊接在鋼結(jié)構(gòu)承重梁上，必須根據(jù)承重梁的承重系數(shù)選擇合適的支、吊架固定方案才能進(jìn)行施工。2、特氣管道安裝的時(shí)候，管子對(duì)口時(shí)應(yīng)檢查平直度，距離接口中心200mm處測(cè)量，當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時(shí)，允許偏差為1mm，當(dāng)管子公稱直徑大于或等于100mm時(shí)，允許偏差為2mm，但全長(zhǎng)允許偏差均為100mm。焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。浙江特氣管道安裝工程

應(yīng)按設(shè)計(jì)要求或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)圖集中對(duì)管道固定支架的型式進(jìn)行選擇。常州特氣管道安裝注意事項(xiàng)

特種氣體管道安裝施工方案需要考慮以下幾個(gè)方面：1. 材料選擇：特種氣體管道需要選用適合的材料，如不銹鋼、玻璃鋼等，以確保管道的密封性和耐腐蝕性。2. 設(shè)計(jì)方案：根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況和氣體特性，設(shè)計(jì)合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩(wěn)定運(yùn)行。3. 施工準(zhǔn)備：準(zhǔn)備好必要的工具和設(shè)備，如切割機(jī)、焊接機(jī)等，確保施工現(xiàn)場(chǎng)的安全和清潔。4. 管道安裝：按照設(shè)計(jì)方案進(jìn)行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。5. 壓力測(cè)試：在管道安裝完成后，進(jìn)行壓力測(cè)試，以確保管道的密封性和耐壓性。6. 吹掃和清洗：對(duì)管道進(jìn)行吹掃和清洗，以去除殘留的雜質(zhì)和污染物，確保管道的干凈和衛(wèi)生。7. 安全措施：在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護(hù)用品、設(shè)置警示標(biāo)志等，確保施工人員的安全和健康。8. 質(zhì)量控制：對(duì)施工過程進(jìn)行質(zhì)量控制，確保管道的安裝質(zhì)量符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和要求。常州特氣管道安裝注意事項(xiàng)