特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，然后管工和焊工都必須經(jīng)過考試，由專門的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。管材或管件在粘合前應(yīng)將承口和插口的粘結(jié)面擦拭干凈，確保無異物。杭州專業(yè)特氣管道安裝工程

氣體房的選擇和設(shè)計(jì)，除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都單獨(dú)于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設(shè)在一個(gè)氣體室；而對(duì)于大宗特氣，會(huì)根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風(fēng)，氣體房的選擇和設(shè)計(jì)一般由設(shè)計(jì)院完成。GMS和GDS系統(tǒng)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。氣體偵測(cè)系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。對(duì)于這兩個(gè)系統(tǒng)在這里只能做一個(gè)概念性的介紹。然后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們?cè)O(shè)計(jì)的重點(diǎn)，這樣可明顯降低整個(gè)系統(tǒng)的成本。上海集中供氣特氣管道安裝廠家特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式。

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)：材料的選擇，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。

特氣管道工程安裝要求，1、特氣管道工程要選擇一家經(jīng)驗(yàn)豐富的供氣氣體系統(tǒng)公司，2、施工和驗(yàn)收要參照規(guī)范，特氣管道工程施工注意事項(xiàng)：1、不選擇半路進(jìn)入行業(yè)，沒有過多的經(jīng)驗(yàn)的公司；2、不使用的材料不合格，工藝落后，施工和驗(yàn)收不按規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)；3、避免氣體管道工程系統(tǒng)設(shè)計(jì)不到位；4、避免出現(xiàn)管道經(jīng)常出現(xiàn)問題，影響研究和工作進(jìn)度。5、注意特殊氣體泄漏會(huì)引起中毒或爆裂的危險(xiǎn)。選擇特氣管道工程安裝公司的標(biāo)準(zhǔn)：1、十幾年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，技術(shù)的積累；2、對(duì)特氣管道工程設(shè)計(jì)考慮的比較全方面；3、使用材料進(jìn)口，標(biāo)準(zhǔn)高；4、施工技藝先進(jìn)，驗(yàn)收嚴(yán)格按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)；5、秉承“安全至上”的觀念。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀，不用壓力表。

特氣管道的安裝需要特別小心，以確保安全和可靠的氣體供應(yīng)。需要遵循相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，進(jìn)行規(guī)劃和設(shè)計(jì)、材料選擇、管道加工和安裝、壓力測(cè)試、氣體純度測(cè)試、標(biāo)識(shí)和標(biāo)簽、維護(hù)和保養(yǎng)等工作。 管道安裝工程是燃?xì)夤艿拦こ痰闹匾M成部分，它直接影響燃?xì)廨斔偷目煽啃约鞍踩\(yùn)行。特氣管道施工質(zhì)量的好壞，直接影響到整個(gè)管網(wǎng)的安全運(yùn)行和用戶的使用效果。因此嚴(yán)格按規(guī)范、規(guī)程進(jìn)行施工，工程質(zhì)量。特氣管道是指在一些特殊場(chǎng)合，如實(shí)驗(yàn)室、電子廠、制藥廠等，用于輸送特殊氣體（如氧氣、氮?dú)狻錃?、氦氣等）的管道。特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)。江蘇室外特氣管道安裝施工

管道在取掉兩層塑料外包裝后，要輕輕的取下兩端的塑料密封套，并立即充氮，防止空氣污染。杭州專業(yè)特氣管道安裝工程

硅烷管道要求：1.硅烷特氣管道安裝一般好選擇管道系統(tǒng)是316或316L無縫EP級(jí)不銹鋼，其內(nèi)、外表面極其光亮，且具有焊接結(jié)構(gòu)，額定壓力為較大運(yùn)轉(zhuǎn)壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到較大額定壓力之間用氦檢漏，理想的系統(tǒng)應(yīng)該全部是焊接的。2.潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對(duì)焊縫的要求外，還要求焊接時(shí)管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。3.硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開關(guān)，以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個(gè)切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。4.在硅烷設(shè)施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標(biāo)簽，說明它們的用途。管道上的標(biāo)簽應(yīng)當(dāng)說明氣流方向和氣體類型。杭州專業(yè)特氣管道安裝工程