閥門的選用: ①高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動(dòng)氬弧焊接,焊接型式通常采用承插焊和對(duì)焊,承插焊的好處在于施焊時(shí)管道的對(duì)中,方便焊接,但缺點(diǎn)是由于管道與承插口之間有間隙,會(huì)存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除,影響高純氣體質(zhì)量。因此對(duì)于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來說,應(yīng)采用對(duì)接焊連接并要求內(nèi)表面無焊縫,即在施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲,利用母材的本身融化填滿焊縫。②高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專門使用接頭予以連接,常用的接頭方式有兩種:分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok),VCR采用優(yōu)良的金屬墊,利用縱向壓力壓緊,因此泄漏率極低,約為10~9A cc/s,且耐壓較高,常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng),而SWG則不如VCR,耐壓較低,基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板,其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。浙江隱藏式氣體管道設(shè)計(jì)流程
近20年來,隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對(duì)高純氣體潔凈度的要求,已不亞于對(duì)純度和干燥度的要求,凡工藝氣體,無一不對(duì)其中的粒子提出限制。因此,對(duì)于高純氣體,純度、干燥度、潔凈度是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。由于高純度氣體的使用地點(diǎn)、性質(zhì)、工況(如溫度、壓力等)都不完全一致,所以,如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度),還沒有一個(gè)嚴(yán)格而明確的概念。 對(duì)于純度和干燥度的控制,我國(guó)CBJ73—84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中指出,“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm氣體?!变X合金氣體管道設(shè)計(jì)行價(jià)氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.50m。
吸送式,通常以20~40 m/s的高速氣流在管路系統(tǒng)內(nèi)懸浮輸送物料,較高真空度可達(dá)60 kPa。該系統(tǒng)在許多行業(yè)中采用,如圖2.1.0所示,物料的輸送過程是在風(fēng)機(jī)的一側(cè)完成的,該系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)。1—回轉(zhuǎn)式供料器;2—料倉(cāng);3—輸料管;4-次旋風(fēng)分拽器;5-排料器;6一料罐;7一二次旋風(fēng)分離器;8一羅茨鼓風(fēng)機(jī)。1 保證物料和灰塵不會(huì)飛逸外揚(yáng)。2 適宜于物料從幾處向一處集中輸送。3 適用于堆積面廣或存放在深處的物料輸送。4 進(jìn)料方式比壓送系統(tǒng)中的供料器簡(jiǎn)單。5 對(duì)卸料口、除塵器的嚴(yán)密性要求高,致使這兩種設(shè)備構(gòu)造較復(fù)雜。6 輸送量、輸送距離受到限制,且動(dòng)力消耗較高。
在實(shí)驗(yàn)室計(jì)過程中,通常會(huì)涉及到氣體管路。一般實(shí)驗(yàn)室用氣主要有不可燃?xì)怏w、惰性氣體、易燃?xì)怏w、劇毒氣體、助燃?xì)怏w組成。所以在設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室的過程中,就需要考慮到氣路的安裝問題,根據(jù)場(chǎng)地環(huán)境及不同氣體的要求,設(shè)計(jì)選用合適的潔凈氣體管道及氣體閥門,滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)氣體安全、純度及潔凈度的需要。隨著行業(yè)快速發(fā)展,由于實(shí)驗(yàn)室氣體輸送等設(shè)備系統(tǒng)在關(guān)鍵內(nèi)容、關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)等方面缺乏統(tǒng)一技術(shù)要求,設(shè)備設(shè)施種類繁多、專門使用模塊與設(shè)備管道閥件性能不匹配等問題逐步凸顯,方案設(shè)計(jì)、技術(shù)實(shí)現(xiàn)、測(cè)試評(píng)估、實(shí)際部署等暫時(shí)缺乏統(tǒng)一和準(zhǔn)確的指導(dǎo),給后期使用維護(hù)造成較大影響。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。
外購(gòu)氣體鋼瓶供氣,外購(gòu)氣體鋼瓶集中存放在工廠的氣瓶間(庫(kù))中,氣瓶中高壓氣體經(jīng)氣體總線,減壓閥組匯集,減壓至一定壓力經(jīng)氣體純化裝置純化后供氣。為確保連續(xù)供氣,氣體鋼瓶一般分為兩組,交替放氣,根據(jù)產(chǎn)品工藝要求,選擇滿足供氣品質(zhì)的氣體純化裝置或在用氣點(diǎn)處設(shè)置末端氣體純化裝置。1-鋼瓶及總線2-減壓閥組;3-調(diào)壓裝置;4-氣體純化裝置; 5-末 氣 體 純 化 器;6-氣 體 過 濾 器;7-用 氣 點(diǎn),其他:實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)規(guī)范,實(shí)驗(yàn)室集中供氣工程要求。實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)要求嚴(yán)格,需要考慮多個(gè)因素,確保供應(yīng)的氣體能夠滿足實(shí)驗(yàn)室內(nèi)不同設(shè)備和實(shí)驗(yàn)的需求。南京衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)施工規(guī)范
氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。浙江隱藏式氣體管道設(shè)計(jì)流程
醫(yī)用空氣系統(tǒng)(壓縮空氣系統(tǒng)):1醫(yī)用壓縮空氣,經(jīng)壓縮空氣機(jī)房輸送至各醫(yī)療部分終端供使用。2壓縮空氣站,壓縮空氣站由空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、空氣干燥器、三級(jí)過濾器及控制柜等組成。儲(chǔ)氣罐:防止空壓機(jī)頻繁啟動(dòng)。干燥器:空氣干燥,使空氣的壓力lu點(diǎn)為+5℃,即使低溫環(huán)境也不至于空氣出現(xiàn)水珠。過濾器:滿足醫(yī)療氣體使用標(biāo)準(zhǔn)。3所輸送的壓縮空氣應(yīng)無菌、干燥、無油。吸進(jìn)氣體為室外清潔空氣,吸氣口必須闊別各類污氣排放口。其它醫(yī)用氣體(N2O、CO2、N2)系統(tǒng):1其它醫(yī)用氣體(N2O、CO2、N2)由氣源站,經(jīng)雙路匯流排減壓后,供至醫(yī)用終端。2氣源站 由于N2O、CO2、N2用氣量較小,氣源可以是鋼瓶供給。氣源站由鋼瓶氣體及匯流排組成,鋼瓶氣體二組,一用一備。小型氣源站位置可靠近用氣點(diǎn),如手術(shù)間技術(shù)夾層等處,房間應(yīng)有透風(fēng)。浙江隱藏式氣體管道設(shè)計(jì)流程