助燃氣體：窒息性氣體，此類氣體無色、無臭、低毒性，但是大量窒息性氣體的泄漏或排入大氣中會使空氣中氧的濃度降低，當空氣中的氧濃度低于18％時，人會感覺到頭暈惡心，甚至會造成窒息死亡。所以一定要嚴防氣體的泄漏。在使用場所設置必要的換氣，及時將窒息性氣體排至室外。有毒氣體，在使用、貯存有毒氣體的場所應設有可靠的通風裝置。和毒氣泄漏報警裝置一旦空氣中有毒氣體達到規(guī)定值時，應進行報警，同時自動開啟自動排氣裝置，有毒氣體在排入大氣前必須經(jīng)過可靠的處理，達到規(guī)定的無害狀態(tài)后方可排放。此類氣體一遇水就會顯示強腐蝕性，因此在腐蝕性氣體系統(tǒng)使用前應以干燥氮氣等對系統(tǒng)設備、管道進行吹掃、干燥，尤其時高壓儲氣瓶的灌裝口，因環(huán)境空氣中的水分易引起腐蝕必須裝設氣瓶帽，并在裝氣瓶帽時使用氮氣對灌裝口進行充分的干燥。氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。南京氮氣氣體管道設計解決方案

氣體管道設計安全技術(shù)：1、氣體管道設計的安全技術(shù)應符合下列規(guī)定：2、每臺(組)用氫設備的支管和氫氣放空管上應設置阻火器。3、各種氣體管道應設置明顯標志。4、使用氫氣及可燃氣體的實驗室應設置報警裝置。5、氣瓶應放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對曰用氣量不超過一瓶的氣體，實驗室內(nèi)可放置一個該種氣體的氣瓶，但氣瓶應有安全防護設施。6、氫氣和氮氣的氣瓶存放間應有每小時不小于三次換氣的通風措施。在實驗室中，氣體管道是一個非常重要的設備，因為它可以幫助實驗室內(nèi)的氣體進行輸送和分離，并且確保實驗室的安全。南京氮氣氣體管道設計解決方案氣體管道的連接應采用焊接或法蘭連接等形式。

氣路的布線：1.氣瓶間內(nèi)壓力調(diào)節(jié)面板與實驗室內(nèi)的氣路終端之間選用SS316LBA管進行連接，管道內(nèi)表面光潔度為Ra<0.4umBA級管道。2.4N氮氣主管線采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa壓力下的流量可達8M3/小時，完全滿足常規(guī)用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。3.5N氮氣、氦氣、預留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。實驗室氣體管道設計要求嚴格，需要考慮多個因素，確保供應的氣體能夠滿足實驗室內(nèi)不同設備和實驗的需求。以下是實驗室氣體管道設計的一些基本要求。

高純氣體的供氣安全，各種特性氣體的使用安全，易燃易爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆裂混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆裂事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的較低處。③可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒鼋拥?，但接地電阻應符合相關(guān)規(guī)定。實驗室氣體管道設計要求嚴格，需要考慮多個因素，確保供應的氣體能夠滿足實驗室內(nèi)不同設備和實驗的需求。

外購氣體供氣，由集中制氣工廠制取的液態(tài)氣體由低溫液態(tài)氣體貯罐槽車運送至用氣工廠，再使用工廠設置低溫液態(tài)氣體貯罐，將液態(tài)氣體槽車中的液態(tài)氣體抽送入液態(tài)氣體貯罐貯存，根據(jù)工廠用氣量，液態(tài)氣體由貯罐送出經(jīng)汽化器化為氣體后，經(jīng)由調(diào)壓器組調(diào)壓并經(jīng)氣體過濾器送去使用車間，若氣體純度或雜質(zhì)含量不能滿足使用要求，則需要再在車間內(nèi)設置末端提純裝置，對氣體進行提純并去除雜質(zhì)，同時為滿足不同需求，還應在工廠使用車間末端或在車間內(nèi)集中設置不同過濾精度的氣體過濾器，示意圖如下：氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應處于除氫氣管道外的其它管道上。實驗室氣體管道設計

氫氣管道與其它可燃氣體管道交叉敷設時，其間距不應小于0.25m。南京氮氣氣體管道設計解決方案

流量測量有策略性地將流量計安裝在公司內(nèi)部管網(wǎng)中經(jīng)濟的和轉(zhuǎn)換性的節(jié)點上。壓縮空氣是一種生產(chǎn)工具，它是公司內(nèi)各個部門產(chǎn)品成本的一部分。從這個角度看，所有部門都要試圖去減少消耗以讓所有部門都能受益?，F(xiàn)在在市場上可以買到的流量計，所有數(shù)值都可以人工讀取，測量數(shù)據(jù)也可以讀取到電腦或轉(zhuǎn)換模塊中。半導體制造用氣體按照使用時的危險性分類：1.可燃、助燃、易燃易爆氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。南京氮氣氣體管道設計解決方案