硅烷特氣柜設計要求：1、因為硅烷（SiH4）的危險性，所以整套系統(tǒng)應該配備惰性吹掃裝置，而且應該設置單獨的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內應配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生。3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應該單獨于其它氣體排氣系統(tǒng)。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設有防止回流裝置。6、排氣管應采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。特氣管道工程施工注意事項：避免出現(xiàn)管道經(jīng)常出現(xiàn)問題，影響研究和工作進度。特氣管道安裝廠家

特氣管道工程安裝幾個安全要點：1、所有管道的支吊架必須符合規(guī)范及設計要求并按照標準圖集中的要求制作與安裝。管道支架或管卡應固定在樓板上或承重結構上。應按設計要求或國家標準圖集中對管道固定支架的型式進行選擇。嚴禁將管道支、吊架直接焊接在鋼結構承重梁上，必須根據(jù)承重梁的承重系數(shù)選擇合適的支、吊架固定方案才能進行施工。2、特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm，當管子公稱直徑大于或等于100mm時，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。南京高純特氣管道安裝配件特氣管道工程施工注意事項：避免氣體管道工程系統(tǒng)設計不到位。

彎管加工，常規(guī)雙層管彎頭需定做，定做成品成本高，而且質量不易得到保證。施工中，可通過設計使用彎管裝置，現(xiàn)場制作彎頭，解決此加工問題。在雙層管道彎管時，于內外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內外管傳力物，確保彎管過程中內外管的真圓度，使彎管質量達到要求。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護作用。彎管時不可取開管道兩端的封頭，彎頭成型后角度偏差不大于5°。自動焊接施工 半成品和成品的保護措施應及時有效，加工完成或焊接完成后及時將管子兩端密封。焊接管子對口必須為正方并緊密連接，在對口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一，連接口需在鎢極的中心位置。焊接時，按要求進行內充氬保護，控制氬氣流量大小。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應保持均勻一致。焊接完成后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外表面的氧化膜。

管道、管件和閥門進場驗收應符合下列規(guī)定：1 在非潔凈室全數(shù)目測檢查管道外包裝，不得有破損、變形；2 檢查合格的管道、管件及閥門搬入潔凈室前，應在緩沖間(前室)去除外包裝薄膜；搬入潔凈室后，應按種類、規(guī)格分別存放在潔凈室的貨架上，不得直接放在地面上。潔凈室的潔凈度宜優(yōu)于或等于7級(0. 5μm)；3 進場的管道、管件和閥門應有產(chǎn)品規(guī)格、型號、合格證、材質證明、使用說明書、檢驗報告。氣瓶柜與氣瓶架的安裝：1氣瓶柜和氣瓶架應按設計要求定位。2氣瓶柜氣瓶架就位找平、找正后，應固定牢固。3氣瓶柜和氣瓶架的垂直度偏差不應大于1.5%成列盤面的垂直度偏差不應大于5mm。4 氣瓶柜的安裝應確保柜門開關自如，不得扭曲變形、關閉不嚴。嚴禁將管道支、吊架直接焊接在鋼結構承重梁上，必須根據(jù)承重梁的承重系數(shù)選擇合適的支、吊架固定方案。

特種氣體管道配管應符合下列規(guī)定：1 按照管道系統(tǒng)單線圖，應將規(guī)定尺寸的管段及預制好的管道有序放在管架上，用專門使用夾具定位后進行預連接，并應通入適量的高純氬氣進行保護；2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；3 支架應采用機械切割，不得氣割，切割后的端頭應倒角并涂環(huán)氧漆后加蓋塑料封頭；4 當采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時，應采用樹脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡。在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護用品、設置警示標志等，確保施工人員的安全和健康。南京廠房特氣管道安裝價位

選擇特氣管道工程安裝公司的標準：對特氣管道工程設計考慮的比較全方面。特氣管道安裝廠家

設備材料進場驗收、焊接樣品鑒定時，建設單位技術人員應在場檢驗確認。主要設備、材料進場驗收，氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤進場驗收應符合下列規(guī)定：1 外包裝上應具有防止傾倒、輕放、防雨標識、防震標識，并應完整無損；2 表面應平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃痕、無銹蝕、不起鼓；柜體頂部應設抽風口，柜門下方應設可調節(jié)空氣過濾網(wǎng)進風口；3 面板上應有氣體的名稱、化學式、濃度、化學性質和危險標志的標識，并應有管線、閥體及附件相互連接的系統(tǒng)圖；同時，應配有與其對應的操作手冊；4 內部引出的管路和閥件接口應用專門使用管帽和堵頭封堵；5 在運輸過程中盤面內應保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮氣；6 閥門、儀表與面板之間應有專門使用閥門支撐件，支撐件材質應采用不銹鋼；不得將閥門、儀表等直接用螺栓固定在面板上。特氣管道安裝廠家