高純氣體的配管及材質(zhì)，高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。高純氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商

日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體，按其不同的品位，具體分為下列幾個(gè)不同的檔次：1.超高純氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高純氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。3.潔凈氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對(duì)水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 上述規(guī)定，都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn)，幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行，是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以，對(duì)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞，必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致，根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了一些歸納。江蘇衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。

高壓儲(chǔ)氣瓶的使用安全。對(duì)于易燃易爆氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體等高壓儲(chǔ)氣瓶的運(yùn)輸、貯存、和使用，必須制定嚴(yán)格的管理制度，操作人員上崗應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格的培訓(xùn)，了解、熟悉相關(guān)氣體的特性和安全知識(shí)方可上崗。搬運(yùn)：高壓儲(chǔ)氣瓶在搬運(yùn)前，應(yīng)認(rèn)真檢查瓶口閥的完好性，并裝好保護(hù)帽，運(yùn)輸時(shí)要使用專門使用氣瓶小手推車，運(yùn)輸過程中要固定好氣瓶，不得使氣瓶發(fā)生碰撞、摩擦，裝卸時(shí)應(yīng)輕拿輕放，不得單人操作。貯存：高壓儲(chǔ)氣瓶應(yīng)貯存在40℃以下的場(chǎng)所，不得受到陽光的直射或風(fēng)吹雨淋，盡可能存放在濕度低的場(chǎng)所，應(yīng)遠(yuǎn)離煙火，不得放置在電纜、電線，腐蝕性化學(xué)品附近，不得將可燃性氣瓶與氧氣瓶放置在一起。同時(shí)應(yīng)豎放，并固定。使用：高壓儲(chǔ)氣瓶在使用時(shí)應(yīng)牢固的固定，不得活動(dòng)或放倒，氣瓶放氣時(shí)，瓶口閥應(yīng)緩慢打開，不得急劇開啟和過分用力，禁止用手觸摸安全閥，禁止從一個(gè)高壓儲(chǔ)氣瓶向另一高壓氣瓶沖灌氣體，氣體使用完后，應(yīng)先關(guān)閉瓶口閥，卸下減壓閥，裝好氣瓶的安全帽，使用后的高壓氣瓶必須留有必要的余壓，防止?jié)B入空氣。

對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。

氣體管道敷設(shè)要求：1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設(shè)，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.50m;交叉敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.25m。分層敷設(shè)時(shí)，氫氣管道應(yīng)位于上方。4、室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。?氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。杭州氫氣氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范

對(duì)于特殊氣體，如高純氣體，管道內(nèi)部應(yīng)保持高度清潔，防止污染。高純氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商

氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范：1、本章規(guī)定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、煤氣、壓縮空氣和真空等實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣體管道設(shè)計(jì)。2、氣體管道設(shè)計(jì)除應(yīng)按現(xiàn)行的《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》、《工業(yè)企業(yè)煤氣安全規(guī)程》、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》、《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》等的規(guī)定執(zhí)行外，尚應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。4、按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)室，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。高純氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商