常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動切換，自動氮?dú)獯祾撸詣诱婵蛰o助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩娱y，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類?，F(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。上海專業(yè)特氣管道安裝規(guī)范

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。江蘇大口徑特氣管道安裝注意事項(xiàng)選擇特氣管道工程安裝公司的標(biāo)準(zhǔn)：十幾年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，技術(shù)的積累。

尾氣處理裝置及純化器的安裝10.5.1尾氣處理裝置安裝應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范》GB50231的有關(guān)規(guī)定。10.5.2尾氣處理裝置的基礎(chǔ)應(yīng)堅(jiān)固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每個(gè)系統(tǒng)的管線及閥門都應(yīng)貼上明顯的正確標(biāo)識，閥門應(yīng)開關(guān)靈活，鎖定裝置應(yīng)可靠。干式尾氣處理裝置及純化器安裝時(shí)，應(yīng)防止吸附劑長期接觸空氣。低蒸汽壓特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第10.6.1條～第10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管路應(yīng)安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路；2 當(dāng)管道穿越溫差較大區(qū)域時(shí)應(yīng)分段加熱。

大宗特氣供氣系統(tǒng)，大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纖（氣體種類包括SiCl 4 ）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出較嚴(yán)格的要求。特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序。

特氣管道工程安裝需要注意以下幾點(diǎn)，首先一定要找專業(yè)的安裝公司，公司必須是擁有建筑安全施工資質(zhì)和氣體管道施工資質(zhì)的，比如沃飛科技，這就是一家資質(zhì)非常齊全的公司，另外要找一個(gè)能提供系統(tǒng)幫助的公司，包括一定要有良好的售后服務(wù)，保證后期出現(xiàn)任何問題都有責(zé)任方。為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收中貫徹國家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，確保人身和財(cái)產(chǎn)安全、做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)、保護(hù)環(huán)境、節(jié)約能源、經(jīng)濟(jì)合理，制定本標(biāo)準(zhǔn)。了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質(zhì)量重要性的認(rèn)識。浙江特氣管道安裝供應(yīng)商

施工中，可通過設(shè)計(jì)使用彎管裝置，現(xiàn)場制作彎頭，解決此加工問題。上海專業(yè)特氣管道安裝規(guī)范

預(yù)制間的選擇，特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。但我們在實(shí)際的施工中,大宗特氣項(xiàng)目很少,一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業(yè)人員和檢察人員外,應(yīng)禁止無關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡單的預(yù)制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個(gè)簡單的凈化空間，進(jìn)行管道的預(yù)制工作。上海專業(yè)特氣管道安裝規(guī)范